1. 角阀（直角真空阀）

结构特点：流体 90° 转向，腔体死角少，粉尘不容易堆积；密封面不易积屑；气动款响应速度快。适用场景半导体刻蚀、PVD 镀膜工艺腔体；工艺气体支管；带粉末、溅射颗粒的管路；需要频繁开关的高真空工位；狭小设备内部支路。不适合：大通径、需要大抽速的粗抽主管路。

2. 闸阀（真空闸阀）

结构特点：阀门全开时管路直通，流导*，抽气阻力小；阀体厚度偏大，占用空间更大。适用场景主抽气大管路、分子泵前端管、镀膜机粗抽 / 高真空主管；大口径管道，对抽速要求高的系统。不适合：粉尘多的工况，闸板缝隙容易积存颗粒，长期使用容易卡阀漏真空。

3. 挡板阀（翻板阀 / 碟式挡板阀）

结构特点：翻板式结构，阀体扁平轻薄，节省安装空间；开关行程短。适用场景分子泵入口、真空机组前端；设备高度受限的安装位置；粗真空至高真空通用；真空机组的主隔离阀。缺点：翻板背面容易沉积粉尘，频繁工艺制程需要定期维护清洁。

4. 蝶阀（真空蝶阀）

结构特点：圆盘翻转启闭，体积小巧、成本低，大通径高。适用场景粗真空管路、废气排风管道、前端预处理管路；真空泄压阀；工业普通真空设备。不适合：高真空、高真空；粉尘和腐蚀性制程，密封件磨损速度快。

5. 直通球阀（真空球阀）

结构特点：球体通孔，全开直通流阻很小；开关迅速。密封大多为橡胶材质。适用场景粗真空回路、氮气吹扫管路、检修旁路、泄压管路；普通实验室真空设备。不适合：高真空、高温烘烤工况；球阀缝隙容易藏污，很少用于半导体主工艺腔体。

6. 泄压阀 / 放气阀（微型角阀）

结构特点：小口径精密阀门，用来缓慢通入氮气破真空。适用场景腔体缓慢泄压，防止气流冲击样品；工艺结束后软破真空；控制泄压速度，避免晶圆、基板被气流吹移位。

7. 旁路平衡阀（小口径微型阀）

结构特点：小通径独立阀门。适用场景闸阀、大挡板阀开启前先平衡阀体两侧压差；防止压差过大导致主阀无法开启或者冲击损坏密封件。

8. 全金属密封高真空阀（无氧铜刀口密封）

结构特点：无橡胶密封圈，刀口挤压无氧铜垫片实现密封，可以高温烘烤除气。适用场景高真空 UHV 系统、表面分析设备、科研真空装置；需要 200℃以上高温烘烤的腔体。不适合：频繁启闭的量产产线；铜垫圈属于一次性耗材，每次拆装必须更换。

9. 电动真空阀

结构特点：电机驱动，开关速度可控平缓。适用场景需要*控制泄压速率、缓慢调节开度的工艺；没有压缩空气气源的设备。缺点：动作速度慢，不适合高速自动化制程。

快速选型结

1. 粉尘多、频繁启闭的工艺支管 → 优先角阀

2. 大口径主抽管道，追求大抽速 → 真空闸阀

3. 安装空间紧凑，分子泵隔离 → 挡板阀

4. 粗抽、吹扫、检修旁路 → 蝶阀 / 球阀

5. 缓慢破真空 → 小型放气角阀

6. 高真空、高温烘烤 → 金属密封阀