FLUORO 福乐 C001 点动导电真空吸笔 干式防静电晶圆芯片真空镊子

一、产品基础信息

1. 产品全称：FLUORO 福乐 C001 NC 点动式导电真空吸笔（C 系列入门基础款）

2. 产品定位：干式无尘车间 ESD 拾取工具，仅适用于无腐蚀干燥工位，不可浸泡酸碱药液；阀体为常关 NC 结构，是 C 系列价格*低、结构*简的基础型号。

3. 型号命名规则

• C001：阀体型号，NC 常关点动结构（按住吸、松手释放）

• D：标准阀体；X=360° 万向旋转接头；Y = 直插固定接头

• 中段数字：吸杆长（95/97/103mm 多长度）

• 后缀 CP = 导电 PEEK 晶圆吸盘；0.3/0.5 = 微型尖头；B = 弯角吸嘴标准完整型号示例：C001-D-X-97-CP、C001-D-Y-103-0.3

1. 配套气源：仅需单负压无油隔膜真空泵，无需正压吹气回路

2. 整机重量：约 23g 轻量化笔身，长时间手持作业不易疲劳

C001真空吸笔实物图

二、防静电材质体系（C 系列通用，与 F 系列 PTFE 防腐款区分）

1. 笔身主体：碳纤维填充导电尼龙

表面电阻率 10⁶~10⁸Ω，完整导出静电，杜绝 CMOS 芯片、薄晶圆静电击穿；韧性高、抗摔耐磨，磕碰不易开裂；短板：不耐强酸、剥离液、有机溶剂，禁止浸泡药液槽。

2. 内部阀腔阀芯：一体 PTFE 氟树脂

润滑气密性优异，无金属弹簧接触气流，低发尘，满足百级无尘车间洁净标准。

3. 可更换吸嘴耗材：导电 PEEK

镜面抛光处理，质地柔软不划伤晶圆镀膜、光刻胶；同步防静电，耐磨寿命长，覆盖晶圆、微小芯片、光学基板全规格。

4. 密封与管路配套

阀片采用 FKM 氟橡胶密封；搭配导电氟塑料软管，形成完整静电泄放回路，ESD 管控达标。

三、阀体工作原理（C 系列四款核心差异化）

1. 操作逻辑：NC 常关点动，按住产生负压吸附，松手瞬间断真空落料真空泵持续供气，只有手指按压顶部按钮时才产生吸力抓取工件；松开按钮立刻切断负压，工件依靠自重自然脱落。

2. 标准取放流程① 吸嘴贴合工件，按住按钮产生负压吸附晶圆 / 芯片；② 全程保持按压完成短距离转运；③ 松开按钮断真空，工件自动掉落卸料。

3. C 系列阀体操作逻辑对比

• C001：点动吸附，按住吸、松手放；适合单次间歇短时拾取（本款）

• C002：NO 常开常吸、按断释放；流水线连续批量转运

• C003：常开 + 侧边自锁开关，可锁吸力，长时间作业不用持续按压

• C007：负压 + 正压双路吹气弹出，薄易碎件，需双路真空泵

四、关键技术参数

1. 负压调节区间：0~-80kPa，真空泵调压阀无级微调吸力，适配 0.05g~500g 工件

2. 吸杆多规格长度：95/97/103mm，适配不同设备腔体深度

3. 适配工件：2~12 寸硅晶圆、光学玻璃基板、01005 微小芯片、陶瓷射频基板、硬质 PCB

4. 适配管路：Φ3×5、Φ4×6 导电氟塑料真空软管

5. 使用环境：干式无尘车间，环境温度 0~60℃，禁止接触强腐蚀化学药液

五、五大产品核心优势

1. 入门经济型，采购成本*低阀体零件极简，结构简单，批量采购价格低于 C002/C003/C007，适合预算有限、单次间歇取片工位。

2. 全机身导电防静电，干式产线基础标配导电尼龙笔身 + 导电 PEEK 吸嘴整套静电泄放，有效保护芯片、薄晶圆、光学元件不被静电击穿。

3. 单负压简易配套，设备投入门槛低无需氮气、双路气源，客户现有普通单负压隔膜真空泵即可配套，改造简单。

4. 轻量化人体工学，操作直观易上手单按键点动控制，新手快速上手，适合短距离、单次少量拾取工况。

5. 模块化耗材，长期维护成本低吸嘴、吸杆独立可拆卸，磨损仅更换前端耗材，无需整支更换；晶圆吸盘、微型尖头、弯角吸嘴全规格可选。

六、典型应用场景（仅限干式无尘干燥环境）

1. 半导体简易干法工位：晶圆快速取样、芯片外观抽检、探针台短时间取片；

2. 光伏干法工序：小型硅片、玻璃基板快速分选；

3. 光学制造：小型硬质光学滤光片、镜片短时拾取；

4. SMT 精密电子：LED、小型功率芯片、硬质 PCB 快速摆盘返修；

5. 实验室无尘干式样品处理：无腐蚀药液环境微小基板、载玻片转移。