深圳京都玉崎上新美幸辉MIYUKI BH-C25 气动真空蝶阀
来源：深圳京都玉崎电子有限公司
发布时间：2026-10-09 16:15:59
深圳京都玉崎上新美幸辉MIYUKI BH-C25 气动真空蝶阀
深圳京都玉崎上新美幸辉MIYUKI BH-C25 气动真空蝶阀
美幸辉MIYUKI BH系列双气缸两段式气动真空蝶阀——0°～45°可调慢开/90°全开三工位，25A～350A全口径覆盖，JIS/ISO/KF/CF法兰可选，半导体/光学镀膜/锂电真空工艺慢抽与快排的*选择
真空工艺腔体排气控制为什么这么难？半导体制造、光学镀膜、锂电真空烘烤等工艺中，腔体从常压向高真空转换时，排气过程并非“越快越好”——如果一开始就大流量高速抽气，可能导致腔体内粉尘、液滴或工艺残留物发生扰动，造成晶圆污染、膜层损伤或物料飞溅。传统做法是在主抽气回路上并联一只专门的慢抽旁路阀，这不仅增加管路复杂度和泄漏风险，还占用宝贵的设备空间。很多工程师用普通两位式蝶阀凑合，结果不是排气冲击导致工件污染，就是旁路阀增加漏点拖累真空度。
更隐蔽的坑： 美幸辉MIYUKI BH系列是在经典B系列两位式气动蝶阀基础上升级而来的双气缸两段式三工位气动真空蝶阀。它并非简单的通断阀，而是具备0°全关→0°～45°无级慢开→90°全开三工位控制能力的“一阀两用”精密排气阀。但BH系列内部按法兰标准分为BH-J（JIS法兰）、BH-N（KF/NW快拆法兰）、BH-I（ISO法兰）、BH-C（CF法兰）四大分支，口径覆盖25A～350A。选错法兰标准——现场管路为KF快拆接口却选了BH-J（JIS法兰），无法安装；需要CF高真空法兰却选了BH-N（KF法兰），极限真空度达不到要求。选错口径——DN100管路却选了BH-J80（DN80），通导能力不足影响抽气效率。选型不对，阀门不是装不上就是无法满足工艺真空度要求。
BH系列是双气缸两段式气动真空蝶阀，采用齿轮齿条驱动结构，简单可靠。阀门开度可在0°～45°和90°（全开）两个位置操作，单个阀门即可实现慢速排气和高速排气。全闭时阀体完全密封。气缸虽小，但开放时推力倍增确保动作可靠，行程末端带空气缓冲效果缓和冲击。安装姿势和方向无限制。面间极薄，通导性能优异。在洁净室内组装和检查。主要规格：法兰形式JIS/ISO/KF(NW)/CF，口径25A～350A，泄漏量1×10⁻⁹ Pa·m³/s以下，使用领域10⁵～10⁻⁵ Pa，接气部材质SUS304，阀板密封氟橡胶O形圈，轴密封氟橡胶O形圈，工作气压0.4～0.6 MPaG，开闭指示微动开关（开/闭各位置检测用）。是半导体、光学镀膜、锂电真空工艺慢抽与快排的*选择。
美幸辉MIYUKI BH系列双气缸两段式气动真空蝶阀，0°～45°可调慢开/90°全开三工位，25A～350A全口径覆盖，JIS/ISO/KF/CF法兰可选，半导体/光学镀膜/锂电真空工艺慢抽与快排。
BH系列核心参数表
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 产品类型 | 双气缸两段式气动真空蝶阀（齿轮齿条驱动） |
| 法兰形式 | JIS / ISO / KF(NW) / CF |
| 口径范围 | 25A～350A |
| 工作压力范围 | 10⁵ Pa（常压）～ 10⁻⁵ Pa（高真空） |
| 泄漏量 | ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s |
| 接气部材质 | SUS304不锈钢 |
| 阀板密封 | 氟橡胶O形圈 |
| 轴密封 | 氟橡胶O形圈 |
| 工作气压 | 0.4～0.6 MPaG |
| 阀位检测 | 微动开关（开/闭各位置检测用） |
| 安装方向 | 无特殊限制 |
| 气缸环境温度 | ≤40℃（禁止烘烤气缸） |
| 阀体耐温 | -25～120℃（FKM密封）/ -30～150℃（Kalrez密封，选配） |
| 装配环境 | 洁净室内组装和检查 |
| 特殊规格 | 可根据需求定制 |
型号编码解析
BH-J100各字段含义如下：
BH：双气缸两段式气动真空蝶阀系列代号
J：法兰标准代号——J=JIS法兰，N=KF(NW)快拆法兰，I=ISO法兰，C=CF法兰
100：公称通径——100=DN100（100A）
各法兰标准系列完整型号对照：
| 法兰标准 | 型号前缀 | 口径范围 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| JIS法兰 | BH-J | 25A～350A | 国内主流真空设备管路 |
| KF(NW)快拆法兰 | BH-N | 25A～100A | 中小型真空腔体、试验设备 |
| ISO法兰 | BH-I | 80A～250A | 国际标准真空设备 |
| CF法兰 | BH-C | 25A～200A | 高真空、高洁净度工艺 |
BH系列完整型号清单
JIS法兰系列（BH-J）——口径25A～350A
| 型号 | 公称通径 |
|---|---|
| BH-J25 | 25A（DN25） |
| BH-J40 | 40A（DN40） |
| BH-J50 | 50A（DN50） |
| BH-J65 | 65A（DN65） |
| BH-J80 | 80A（DN80） |
| BH-J100 | 100A（DN100） |
| BH-J150 | 150A（DN150） |
| BH-J200 | 200A（DN200） |
| BH-J250 | 250A（DN250） |
| BH-J300 | 300A（DN300） |
| BH-J350 | 350A（DN350） |
KF（NW）快拆法兰系列（BH-N）——口径25A～100A
| 型号 | 公称通径 |
|---|---|
| BH-N25 | 25A（KF25） |
| BH-N40 | 40A（KF40） |
| BH-N50 | 50A（KF50） |
| BH-N63 | 63A（KF63） |
| BH-N80 | 80A（KF80） |
| BH-N100 | 100A（KF100） |
ISO法兰系列（BH-I）——口径80A～250A
| 型号 | 公称通径 |
|---|---|
| BH-I80 | 80A |
| BH-I100 | 100A |
| BH-I160 | 160A |
| BH-I200 | 200A |
| BH-I250 | 250A |
CF法兰系列（BH-C）——口径25A～200A
| 型号 | 公称通径 |
|---|---|
| BH-C25 | 25A（CF25） |
| BH-C40 | 40A（CF40） |
| BH-C63 | 63A（CF63） |
| BH-C100 | 100A（CF100） |
| BH-C200 | 200A（CF200） |
全系列覆盖JIS、ISO、KF(NW)、CF四种法兰标准，口径25A～350A，共30余个标准型号。特殊规格可根据需求定制。
各通径详细尺寸表
BH-J系列（JIS法兰）
表1：BH-J系列核心规格速查
| 型号 | 公称通径 | 法兰外径 D | 螺栓孔 n-E | 阀体长度 A | 面间高度 C | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BH-J25 | 25A | 120 mm | 4-φ10 | 20 mm | 100 mm | 2 kg |
| BH-J50 | 50A | 120 mm | 4-φ10 | 20 mm | 110 mm | 2 kg |
| BH-J65 | 65A | 145 mm | 4-φ12 | 20 mm | 130 mm | 3 kg |
| BH-J80 | 80A | 160 mm | 4-φ12 | 20 mm | 145 mm | 3 kg |
| BH-J100 | 100A | 185 mm | 8-φ12 | 26 mm | 165 mm | 4 kg |
| BH-J150 | 150A | 235 mm | 8-φ12 | 40 mm | 225 mm | 6 kg |
| BH-J200 | 200A | 300 mm | 12-φ12 | 40 mm | 285 mm | 11 kg |
| BH-J250 | 250A | 350 mm | 12-φ12 | 40 mm | 335 mm | 16 kg |
| BH-J300 | 300A | 400 mm | 12-φ14 | 50 mm | 400 mm | — |
| BH-J350 | 350A | 450 mm | 12-φ14 | 50 mm | 450 mm | — |
表2：BH-J系列安装与外形尺寸
| 型号 | B | F | G | H | J | L | M | N | Q | R | T | U | V |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| BH-J25 | 34 | 80 | 20 | 0 | |||||||||
| BH-J50 | 52 | 90 | 45 | 0 | |||||||||
| BH-J65 | 65 | 110 | 59 | 155 | 83 | 200 | 55 | 9.5 | 47 | 60 | 61 | 18 | 130 |
| BH-J80 | 80 | 125 | 74 | 170 | 90 | 200 | 55 | 9.5 | 47 | 60 | 61 | 18 | 130 |
| BH-J100 | 102 | 145 | 97 | 195 | 103 | 200 | 55 | 9.9 | 47 | 60 | 79 | 22 | 145 |
| BH-J | 4 | 245 | 128 | 270 | 69 | 12.5 | 70 | 88 | 108 | 22 | 185 | ||
| BH-J200 | 208 | 260 | 199 | 315 | 3 | ||||||||
| BH-J250 | 257 | 310 | 249 | 375 | 200 | 380 | 100 | 31.5 | 105 | ||||
| BH-J300 | 306 | 365 | 298 | 440 | 240 | 430 | 110 | 36.5 | 120 | ||||
| BH-J350 | 355 | 420 | 347 | 490 | 285 | 480 | 120 | 41.5 | 135 |
注：上表中ISO、JIS B2220的标注尺寸。其他特殊法兰，请另行咨询。
BH-N系列（KF法兰）
表1：BH-N系列核心规格速查
| 型号 | 公称通径 | 法兰外径 D | 螺栓孔 n-E | 阀体长度 A | 面间高度 C | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BH-N25 | 25A | 65 mm | — | 34 mm | 52 mm | 1 kg |
| BH-N40 | 40A | 80 mm | — | 52 mm | 65 mm | 2 kg |
| BH-N50 | 50A | 102 mm | — | 65 mm | 80 mm | 3 kg |
| BH-N63 | 63A | 115 mm | — | 80 mm | 102 mm | 3 kg |
| BH-N80 | 80A | 132 mm | — | 102 mm | 115 mm | 4 kg |
| BH-N100 | 100A | 155 mm | — | 115 mm | 132 mm | 6 kg |
表2：BH-N系列安装与外形尺寸
| 型号 | B | C | D | F | G | H | J | L | M | N | Q | R | T |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| BH-N25 | 34 | 52 | 65 | 80 | 20 | 100 | 45 | 56 | |||||
| BH-N40 | 52 | 65 | 80 | 102 | 45 | 110 | 59 | 56 | |||||
| BH-N50 | 65 | 80 | 102 | 115 | 59 | 130 | 74 | 200 | 55 | 9.5 | 47 | 60 | 61 |
| BH-N63 | 80 | 102 | 115 | 132 | 74 | 145 | 90 | 200 | 55 | 9.5 | 47 | 60 | 61 |
| BH-N80 | 102 | 115 | 132 | 155 | 97 | 170 | 103 | 200 | 55 | 9.9 | 47 | 60 | 79 |
| BH-N100 | 115 | 132 | 155 | 180 | 97 | 195 | 128 | 270 | 69 | 12.5 | 70 | 88 | 108 |
注：上表中KF（NW）160、250规格，请另行咨询。单位：mm。
BH-I系列（ISO法兰）
表1：BH-I系列核心规格速查
| 型号 | 公称通径 | 法兰外径 D | 螺栓孔 n-E | 阀体长度 A | 面间高度 C | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BH-I80 | 80A | 145 mm | 8-φ9 | 30 mm | 110 mm | 3 kg |
| BH-I100 | 100A | 185 mm | 8-φ9 | 30 mm | 165 mm | 4 kg |
| BH-I160 | 160A | 235 mm | 8-φ11 | 50 mm | 225 mm | 6 kg |
| BH-I200 | 200A | 300 mm | 12-φ11 | 50 mm | 285 mm | 11 kg |
| BH-I250 | 250A | 350 mm | 12-φ11 | 50 mm | 335 mm | 16 kg |
表2：BH-I系列安装与外形尺寸
| 型号 | A | B | C | D | n-E | F | G | H | J | L | M | N | Q | R | T | U | V |
|------|---|---|---|---|-----|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| BH-I80 | 30 | 80 | 110 | 145 | 8-φ9 | 125 | 74 | 170 | 90 | 200 | 55 | 9.5 | 47 | 60 | 61 | 18 | 130 |
| BH-I100 | 30 | 102 | 165 | 185 | 8-φ9 | 145 | 97 | 195 | 103 | 200 | 55 | 9.9 | 47 | 60 | 79 | 22 | 145 |
| BH-I160 | 50 | 155 | 225 | 235 | 8-φ11 | 200 | 144 | 245 | 128 | 270 | 69 | 12.5 | 70 | 88 | 108 | 22 | 185 |
| BH-I200 | 50 | 208 | 285 | 300 | 12-φ11 | 260 | 199 | 315 | 165 | 350 | 90 | 23.5 | 93 | 130 | 123 | 22 | 215 |
| BH-I250 | 50 | 257 | 335 | 350 | 12-φ11 | 310 | 249 | 375 | 200 | 380 | 100 | 31.5 | 105 | 145 | 133 | 22 | 235 |
注：上表中ISO 160、250规格的标注尺寸。其他特殊法兰，请另行咨询。
BH-C系列（CF法兰）
表1：BH-C系列核心规格速查
| 型号 | 公称通径 | 法兰外径 D | 螺栓孔 n-E | 阀体长度 A | 面间高度 C | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BH-C25 | 25A | 89.0 mm | 4-φ8.4 | 30 mm | 69.4 mm | 2 kg |
| BH-C40 | 40A | 114.3 mm | 6-φ8.4 | 30 mm | 88.9 mm | 2 kg |
| BH-C63 | 63A | 152.4 mm | 8-φ8.4 | 30 mm | 114.3 mm | 3 kg |
| BH-C100 | 100A | 202.6 mm | 16-φ8.4 | 40 mm | 152.4 mm | 4 kg |
| BH-C200 | 200A | 304.8 mm | 24-φ8.4 | 50 mm | 253.4 mm | 11 kg |
表2：BH-C系列安装与外形尺寸
| 型号 | B | F | G | H | J | L | M | N | Q | R | T | U | V |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| BH-C25 | 34 | 58.7 | 20 | 100 | 45 | 170 | 55 | 9.5 | 40 | 60 | 56 | 18 | 130 |
| BH-C40 | 52 | 82.6 | 45 | 110 | 59 | 170 | 55 | 9.5 | 40 | 60 | 56 | 18 | 130 |
| BH-C63 | 65 | 101.6 | 59 | 130 | 74 | 200 | 55 | 9.5 | 47 | 60 | 61 | 18 | 130 |
| BH-C100 | 102 | 130.2 | 97 | 165 | 103 | 200 | 55 | 9.9 | 47 | 60 | 79 | 22 | 145 |
| BH-C200 | 208 | 232.0 | 199 | 255 | 93 |
注：上表中CF法兰的标注尺寸。CF法兰符合ISO 3669标准。
尺寸符号说明
| 符号 | 含义 | 符号 | 含义 |
|---|---|---|---|
| A | 阀体长度（面间尺寸） | N | 安装孔直径 |
| B | 阀体内径 | Q | 气缸安装孔间距 |
| C | 面间高度（中心到法兰面） | R | 气缸安装孔间距（横向） |
| D | 法兰外径 | T | 轴径 |
| n-E | 螺栓孔数量-孔径 | U | 轴端尺寸 |
| F | 法兰螺栓圆直径（PCD） | V | 气缸长 |
| G | 阀板中心到法兰面距离 | H | 阀体高 |
| J | 阀体宽 | L | 气缸宽 |
| M | 安装板厚度 |
BH系列核心优势：双气缸两段式三工位+一阀两用+高推力倍增大通导+无安装方向限制
1. 双气缸两段式三工位，单阀实现慢抽与快排
阀门支持0°全关→0°～45°可调慢开→90°全开三档工作位，单阀即可实现慢速排气与高速排气。设备启动阶段阀门保持较小开度，控制排气流量降低腔体压力变化速度；当腔体进入适合高速抽气的压力区间后，再打开至90°，利用较大的流导实现快速排气。无需额外增加专门用于慢抽的旁路阀，大幅简化真空管路设计，减少管路漏点。
2. 小型气缸推力倍增，可靠动作与缓冲并存
气缸虽小，但开放时推力倍增（确実な動作），行程末端带空气缓冲效果缓和冲击。齿轮齿条驱动结构简单可靠，在真空阀门中具有*的通导性能。
3. 全闭完全密封，高真空保压能力优异
全闭时阀体完全密封，内部泄漏量控制在1×10⁻⁹ Pa·m³/s以下，轴封外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。适配从常压10⁵Pa到高真空10⁻⁵Pa的宽压力范围，满足粗抽、工艺腔旁路、排气管路等不同真空等级使用。
4. 薄阀体设计，通导性能优异
面间极薄，通导性能在真空阀中*。阀体厚度小，节省真空管路安装空间，适配设备内部狭小布局。
5. 洁净低颗粒结构，满足半导体洁净要求
阀体内部无金属滑动摩擦部件，减少微粒产生。过流部件采用SUS304不锈钢，内腔精加工，放气低，满足半导体、光学器件生产对洁净度的基础要求。在洁净室内组装和检查，每台产品经过氦质谱检漏出厂。
6. 安装方向无限制，灵活适配各类管路布局
取付姿势和取付方向无限制，可水平、垂直、倾斜多方向安装，适配设备内部狭小布局。
7. 标配微动开关位置反馈，自动化集成便捷
开闭指示微动开关标配（开/闭各位置检测用），可向PLC反馈阀门开/关状态信号。
8. 宽口径范围与多法兰标准，一站覆盖全场景
口径覆盖25A～350A，法兰形式支持JIS、ISO、KF(NW)、CF四种标准，满足从中小型试验设备到大型量产设备的所有真空管路需求。
订购与选型指南
选型五步法：
确定法兰标准： 国内设备管路→BH-J（JIS法兰）；中小型腔体/试验设备→BH-N（KF快拆法兰）；国际标准设备→BH-I（ISO法兰）；高真空工艺→BH-C（CF法兰）
确定公称通径： 根据管路通径选择对应口径，如DN100→BH-J100/BH-N100/BH-I100/BH-C100。建议通径匹配管路内径，避免缩径影响通导能力。
确认真空度要求： 常规粗抽/工艺腔旁路→JIS/KF/ISO法兰；高真空/高洁净度工艺→CF法兰
确认密封材质： 标准工况→FKM氟橡胶O形圈（-25～120℃）；高温/腐蚀性工艺气体→Kalrez全氟醚密封圈（-30～150℃，选配）
确认安装空间： 根据各通径详细尺寸表确认阀体外形尺寸和安装空间是否满足要求
完整型号速查（按法兰标准分类）：
| 需求场景 | 系列 | 典型型号 |
|---|---|---|
| 国内主流真空设备管路（JIS法兰） | BH-J | BH-J25～BH-J350 |
| 中小型腔体/试验设备（KF快拆） | BH-N | BH-N25～BH-N100 |
| 国际标准真空设备（ISO法兰） | BH-I | BH-I80～BH-I250 |
| 高真空/高洁净度工艺（CF法兰） | BH-C | BH-C25～BH-C200 |
工程师选型避坑
不建议的做法：
法兰标准选错——现场管路为KF快拆接口却选了BH-J（JIS法兰），无法安装。选型前务必确认现场法兰标准。
口径选小——DN100管路却选了BH-J80（DN80），通导能力不足影响抽气效率。应选择与管路内径匹配的通径。
该产品不能用于质量测量显示的用途。
气缸烘烤禁止——气缸执行机构环境温度≤40℃，严禁对气缸部分进行烘烤。阀体可烘烤（*150℃），但气缸部分不可烘烤。
密封材质选择不当——高温或腐蚀性工艺气体环境应选配Kalrez全氟醚密封圈，标准FKM氟橡胶密封圈耐温上限为120℃。
该阀门不能直接对接高精度闭环压力控制系统——BH系列为气动款，主要用于真空管路隔离、排气回路通断，不能直接对接MGCS-11/MG-mini485做高精度闭环压力控制。需要高精度闭环控制请选用BAR/GAR伺服控制蝶阀系列。
气源要求——工作气压为0.4～0.6 MPaG洁净干燥压缩空气，气源不洁净可能导致气缸动作异常。
落地适配全场景
半导体制造（BH-J/BH-N/BH-C） ：真空腔体粗抽管路、旁路隔离阀、排气回路通断，慢抽功能防止晶圆污染
光学镀膜（BH-J/BH-C） ：蒸镀、溅射设备的真空管路隔离，腔体隔断，慢抽功能防止膜层损伤
锂电真空工艺（BH-J） ：真空烘烤、脱泡设备管路通断，两段式缓抽防止物料飞溅
科研实验（BH-N/BH-I） ：高校、研究所真空实验装置管路开关，真空系统隔离
光伏新能源（BH-J） ：真空烘烤、脱气设备管路通断
通用工业真空（BH-J/BH-I） ：真空炉、氦检设备，用于管路切断、旁路切换
结尾转化
真空工艺腔体排气控制为什么这么难？半导体制造、光学镀膜、锂电真空烘烤中，腔体从常压向高真空转换时，大流量高速抽气可能导致粉尘扰动、膜层损伤——传统旁路阀方案增加管路复杂度和泄漏风险。美幸辉MIYUKI BH系列双气缸两段式气动真空蝶阀、0°～45°可调慢开/90°全开三工位、25A～350A全口径覆盖、JIS/ISO/KF/CF法兰可选、泄漏量≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s、SUS304不锈钢接气部、洁净室组装检查——单阀实现慢抽与快排，无需旁路阀简化管路设计，才是半导体/光学镀膜/锂电真空工艺慢抽与快排的正解。
美幸辉MIYUKI BH系列双气缸两段式气动真空蝶阀，0°～45°可调慢开/90°全开三工位，25A～350A全口径覆盖，JIS/ISO/KF/CF法兰可选，半导体/光学镀膜/锂电真空工艺慢抽与快排。
深圳京都玉崎电子有限公司，专注美幸辉MIYUKI系列真空阀门全系列产品供应。如需选型协助或真空管路方案设计，请在本网页直接联系我！
温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
