全新MIYUKI美幸辉薄型气动真空阀L-I63

来源：池田屋贸易（深圳）有限公司
发布时间：2026-07-25 16:43:56

日本全新MIYUKI美幸辉薄型气动真空阀L-I63 

型号释义

L-I63
  • L 系列：薄型气动真空闸阀系列
  • I：ISO-F 标准法兰安装形式
  • 63：公称通径 DN63
同系列区分：L-J 为 JIS 日标法兰、L-N 为 KF 快装法兰，L-I63 适配 ISO-F63 国际标准法兰，多用于自动化镀膜、半导体、锂电中大型真空设备。
 L-I63 气动真空闸阀，采用薄紧凑阀体结构，有效节省设备轴向安装空间。阀门启闭过程仅密封面相互接触，减少颗粒物产生，适配洁净真空制程；阀座采用均衡球压密封结构，正向、反向压差工况均可维持可靠密封，适用压力区间覆盖常压至 1×10⁻⁵Pa，广泛用于各类真空腔体、工艺管路通断隔离。

特点

  1. 薄型轻量化设计
    阀体厚度小，便于真空腔体、狭小设备内部布局，适配紧凑型自动化设备集成。
  2. 低粉尘洁净构造
    阀板运行无持续摩擦接触，减少微粒析出，匹配镀膜、半导体、锂电材料洁净工艺需求。
  3. 双向密封能力良好
    阀座均衡受压结构，可承受上下游压差，抽气隔离、破空管路均可稳定使用。
  4. 低放气内腔工艺
    不锈钢内腔镜面抛光，降低气体吸附释放，保障真空腔体压力稳定。
  5. 维护便捷
    密封组件模块化设计，更换密封圈无需整体拆除阀门，降低停机维护时长。

应用场景

光学镀膜、溅射蒸镀设备真空管路隔断；半导体等离子清洗、电子元器件封装真空腔体；锂电材料浆料干燥、脱泡真空设备；真空热处理炉、中试反应真空系统；科研高校实验真空平台管路隔离。

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