原装MIYUKI美幸辉G-J100气动伺服真空蝶阀
来源：池田屋贸易（深圳）有限公司
发布时间：2026-07-25 17:15:49
G-J100 气动伺服真空蝶阀，搭载气动伺服驱动单元，实现 0～90° 全行程任意开度锁定，依靠洁净压缩空气完成流量连续调节，无需伺服电机供电。适用压力区间常压 1×10⁵Pa 至高真空 1×10⁻⁶Pa，广泛配套光学镀膜、半导体、锂电新材料、精细化工连续化真空产线，用于腔体真空压力稳定调控、载气流量微调。阀板多点球面压紧密封，正向、反向压差工况均可维持密封性能，适配长时间连续量产工艺。
特点
气动伺服无级调节
0°～90° 连续开度可调，可稳定调控真空抽速与进气流量，实现腔体压力动态平衡，搭建真空 PID 闭环工艺。
大通导、抽气效率良好
阀体结构流导充足，缩短腔体抽气周期，利于提升产线运行效率。
双向密封结构
蝶形球面多点压紧机构，承受上下游压差时密封状态稳定，保压表现平稳。
低释气洁净构造
内腔抛光处理，减少气体吸附析出，适配镀膜、半导体、锂电材料洁净真空制程。
布局灵活
水平、垂直、侧向均可装配，适配大型反应釜、真空管路多种安装场景。
行业应用
1. 光学镀膜、溅射蒸镀生产线真空压力连续调控；
2. 半导体等离子工艺、光刻胶、功能性树脂合成真空系统；
3. 锂电材料涂布液、脱泡、干燥真空腔体流量调节；
4. 胶粘剂、溶剂型涂料连续化中试与量产产线；
5. 高校、科研机构真空实验平台压力*控制。
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温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
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