•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
结构紧凑,排气量大。 干式真空泵的*压力水平。 内置自动复位型热保护器等安全设计。 通过空气冲洗抑制水分凝结。 分析设备 气体回收系统 涂装设备 TMP的背泵 氦气检漏仪 半导体制造工艺特点
用途
※1:设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。 :标准、○:可选对应、-:对应不可 1 粉末和生成物吸入会导致泵损坏。 2 吸入有害气体如爆炸性气体,易燃气体,有毒气体,腐蚀性气体,有机溶剂气体等,可能会因气体本身,爆炸或火灾而导致泵故障。规格
Unit 50Hz 60Hz 设计排气速度度※1 L/min 90 108 极限压力 Pa (kPa) 5 使用电动机※2 单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転 全负荷电流 A 2.6/1.3/1.6 2.1/2.2/1.1/1.1 (100/200/230V) (100/115/200/230V) 重量 kg 14 吸气口径 KF-25 排气口径 KF-16 使用环境温度范围 ℃ 5~40 水蒸气处理量 g/day ≦5 以下 (AF開時※3, 室温25℃, 湿度60%以下) 噪音水平 dB ≦52 (AF開時※3, ≦57) *尺寸 mm 214(W)×308(L)×225(H)
※2:不包括电源插头和电源线。
※3:AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水,而且还具有恢复极限力的效果。对应标准/电压
型号 标准※ CE自我宣言 1Φ
100V系1Φ
200V系3Φ
200V系3Φ
400V系DIS-90 cTUV
(可以通过更换端子板切换)- -
※cTUVus : 本产品是通过国际第三方产品安全测试和,符合美国标准的高质量产品。使用上的注意
请使用吸气阱。
