深圳京都玉崎推出ULVAC爱发科涡旋式干泵DIS-90

来源:深圳市京都玉崎电子有限公司
发布时间:2026-06-17 16:51:13

•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。

特点

  • 结构紧凑,排气量大。

  • 干式真空泵的*压力水平。

  • 内置自动复位型热保护器等安全设计。

  • 通过空气冲洗抑制水分凝结。

用途

  • 分析设备

  • 气体回收系统

  • 涂装设备

  • TMP的背泵

  • 氦气检漏仪

  • 半导体制造工艺

规格


Unit50Hz60Hz
设计排气速度度※1L/min90108
极限压力Pa (kPa)5
使用电动机※2
单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転
全负荷电流A2.6/1.3/1.62.1/2.2/1.1/1.1
(100/200/230V)(100/115/200/230V)
重量kg14
吸气口径
KF-25
排气口径
KF-16
使用环境温度范围5~40
水蒸气处理量g/day≦5 以下 (AF開時※3, 室温25℃, 湿度60%以下)
噪音水平dB≦52 (AF開時※3, ≦57)
*尺寸mm214(W)×308(L)×225(H)

※1:设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2:不包括电源插头和电源线。
※3:AF = Air Flash
   空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水,而且还具有恢复极限力的效果。

对应标准/电压

型号标准※CE自我宣言
100V系

200V系

200V系

400V系
DIS-90cTUV
(可以通过更换端子板切换)

:标准、○:可选对应、-:对应不可
※cTUVus : 本产品是通过国际第三方产品安全测试和,符合美国标准的高质量产品。

使用上的注意

粉末和生成物吸入会导致泵损坏。
请使用吸气阱。

吸入有害气体如爆炸性气体,易燃气体,有毒气体,腐蚀性气体,有机溶剂气体等,可能会因气体本身,爆炸或火灾而导致泵故障。


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