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泄漏 |
主机:1 × 10⁻¹⁰ [Pa·m³ / s] 阀体:5 × 10⁻¹⁰ [Pa·m³ / s](背压) |
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工作温度 |
主机:120 [℃] 执行器:60 [℃] |
| 营业时间 | 3.0 至 5.0 [秒] |
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材料 |
阀体:AC4C-T6 ;波纹管:SUS316L(压力抵消); 阀板:铝; 密封材料:FKM |
| 工作压力 | 0.45 至 0.60 [兆帕] |
| 寿命 | 100万次 |
| 选项 | 无压取消规范 |
| 口径 | 模型 | 一个 | B | C | D | E |
| 250 | M-250J(S)-2(3) | 460 | 655 | 100 | 134.5 | 250 |
| 320 | M-320J(S)-2(3) | 555 | 790 | 120 | 129.5 | 320 |
| 400 | M-400J(S)-2(3) | 630 | 944 | 135 | 129 | 400 |
产品广泛配套于半导体晶圆制造、FPD显示面板、光学镀膜设备、粒子加速器、科研分析仪器(电镜/质谱)、核聚变装置等高端领域,是日系精密真空装备的核心原厂配套零部件。
