日本 TORAY 东丽 LD-450 氧气分析仪

产品概述

LD-450 是分体直插真空型氧分析仪，区别 LC/RF 泵吸取样机型，无抽气泵、探头直接插入腔体 / 管道原位测气，专为真空腔体、密闭惰性气氛开发，转换器壁挂安装、SD 传感器法兰直插炉体，是半导体镀膜、锂电手套箱行业主力微量氧仪表。测量原理：高温氧化锆浓差电池，固态陶瓷电解质，无电解液，传感器寿命 3～5 年。

核心技术参数

1. 精度

   ≥1% FS 量程：±0.5% FS；

   ＜1%（ppm 段）：±1% FS 或 ±1ppm（取大值）

2. 响应 & 预热：T90＜3s，整机预热≤6min，全系列东丽机型里响应*快

3. 样气工况：压力 **～（真空～微正压通用）**；介质温度 0～100℃，露点低于环境温度

4. 探头安装规格：SD 传感器接口NW16/NW25/NW40 真空法兰、R3/8 螺纹两种安装方式，适配真空腔体标准法兰口

5. 电气与尺寸

• 供电：DC24V 2A；转换器功耗：待机 15VA、升温 60VA

• 输出分型：

• T 型：隔离 4～20mA+2 路无源报警触点；

• C 型：RS232 数字通讯；

• 转换器尺寸：185×155×40mm（薄壁挂，仅 40mm 厚），净重 1.2kg；SD 探头长约 100mm，0.5kg；标配 2 米连接线，*长可定制 10 米，探头与主机远距离分离安装。

产品核心优势

1. 分体薄壁挂设计：转换器体积小巧薄，控制柜 / 墙面壁挂不占空间，探头伸入高温 / 真空炉体，主机远离恶劣工况，故障率远低于泵吸式仪表；

2. 原位直测免取样预处理：无需过滤器、真空泵，杜绝管路漏气、水汽污染问题，真空环境*，省去气路配套成本；

3. 特种防护传感器：SD 探头表面耐高温抗镀膜涂层，抗粉尘、轻微挥发物，适配溅射、镀膜易结垢腔体；

4. 宽真空兼容：从高真空10−3Pa到常压全压力适配，覆盖绝大多数密闭惰性炉工况。

典型应用场景

1. 半导体 / 光电：PVD 溅射、CVD 镀膜、晶圆退火炉、OLED 封装真空腔体微量氧监控；

2. 新能源锂电：惰性手套箱、极片烧结炉、注液密封舱 N₂/Ar 保护气氛控氧；

3. 热处理 / 3D 打印：光亮退火炉、钎焊炉、金属 3D 打印密闭腔体保护气检测；

4. 特种气体 / 实验室：高纯氩 / 氮管道、科研密封试验箱、真空焊接保护气监测。

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