玉崎科学仪器原装现货供应EBARA 荏原 EV‑S50P 多级罗茨干式真空泵

EV‑S50P：标配氮气吹扫，普通材质，用于轻微粉尘、少量副产物工况

核心规格参数

表格

项目	EV‑S50P
泵结构	多级非接触罗茨干式无油泵
*抽速	5000 L/min（300 m³/h），50/60Hz 性能一致
极限真空	0.5 Pa（空载）
进气法兰	NW50 KF 法兰
排气法兰	NW25 KF 法兰
冷却方式	水冷，冷却水流量 2.0‑3.0 L/min，进水≤30℃
供电	三相 AC200‑220V / 380‑440V，50/60Hz
电源容量	4.8 kVA
极限真空运行功率	0.55 kW；变频带怠速休眠节能模式
N₂吹扫	内置氮气吹扫系统，带调压阀；吹扫流量可调
外形 W×D×H	230 × 450 × 520 mm
整机重量	100 kg
通讯接口	LCD 本地面板；RS485；D‑Sub 控制接口；报警历史存储；PLC 远程启停 / 报警输出
	SEMI‑S2、CE、NRTL

半导体：Load‑lock、传输腔、中小型 PVD、轻蚀刻、CVD 工艺腔体前级；面板、光伏设备；不适用强腐蚀重蚀刻工艺（选 P/N）。

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