日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-I50+MS-PC

结构特点

伺服直驱结构，无齿轮间隙空程，小开度气流线性稳定，档位设定后阀位无漂移

全行程 90° 等分 100 档（00 全关、99 全开），机械锁止档位，重复工艺开度一致性高

低发尘洁净结构，阀内无外露摩擦部件，适配无尘车间 PVD / 蒸镀 / 锂电真空制程

任意角度可安装，断电电机抱闸锁止阀位，防止意外泄压冲坏腔体产品

主流应用场景

光学镀膜 / 真空蒸镀机：阶梯式缓慢进气破真空，避免膜层急速充气产生针孔、起皮

锂电设备：真空注液、电芯脱泡分段泄压，防止电解液飞溅、电芯受损

半导体 PVD/CVD/ 刻蚀腔体：工艺腔惰性载气精密配比、腔体稳压控压

科研真空炉、检漏设备：梯度升压、精密微调腔体真空度

同规格选型区分

成套型号	控制方式	控制器	适用工况
BAZ-I50+MS-PC	00~99 数字定点档位	MS-PC	固定分段进气、重复性工艺（镀膜 / 锂电标配）
BAR-I50+MS-VP	0~10V 模拟连续无级调压	MS-VP	动态闭环稳压、连续无极微调压力

控制器型号	MS-PC
适用的开口规范阀门类型	巴兹加兹
面板显示	4个LED灯（准备/移动/开/关闭）
面板操作	电平设置开关（00~99），移动按钮，打开按钮
外部输入输出	开门度规范（bit1， 2， 4， 8， 16， 32， 64， 128）， MOVE， OPEN
外部输入输出输入/输出	准备，移动，打开，关闭
输入电源	电压：DC24V±5% 功耗：*95W
参数重写*1	数据设置软件 MEXE02（东方马达）
尺寸（W×D×H）	110毫米×130毫米×141毫米
质量	1公斤
配件	支架
有线电视（单独出售）*2	电机电缆 编码线 电磁制动电缆

※1：在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。

※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。

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