日本原厂MIYUKI美幸辉气动真空阀L-J65

 L-J65 薄型气动真空闸阀，适配 JIS 标准 DN65 通径，面向高洁净真空工艺场景开发，阀体结构紧凑，正面占用空间小，便于腔体与管路紧凑布局，广泛应用半导体、光学镀膜、锂电池、真空热处理、科研真空设备等真空制程。

产品采用优化密封构造，启闭动作过程阀板与阀体非接触摩擦，能够有效减少微颗粒产生，满足洁净真空工况要求。接液主体选用 SUS304 不锈钢材质，内壁经过精细化处理，降低气体吸附与出气量，适配高真空环境。阀座受压均匀，正向、反向压差条件下均可维持稳定密封性能，泄漏指标表现良好；配备标准气动驱动结构，可搭配磁性接近开关，实时反馈阀门开闭状态，方便接入设备控制系统实现自动化联动。

阀体厚度轻薄，安装方位不受严格限制，开放式腔体、真空管路均可灵活装配。驱动气源压力适用 0.4～0.6MPa，适配工厂通用气源条件；内部无复杂易损结构，日常维护工作量可控，适合长时间连续生产运行。阀门适用真空区间覆盖中真空至高真空范围，可用于腔体抽气、破空、隔离管路等工艺节点。

在半导体与光学行业，多用于镀膜机、溅射设备真空腔体气路隔离，保障镀膜工艺真空环境稳定；锂电新材料领域适配脱泡炉、浆料干燥真空设备管路通断控制；同时适用于真空热处理炉、电子元器件封装设备、高校科研真空实验平台。

相较于传统真空闸阀，该机型节省安装空间，洁净度表现契合精密制程需求。同系列提供多种通径规格可供选型，客户可根据管路流量、腔体尺寸匹配型号。设备运行稳定，助力真空产线维持工艺环境一致性，降低杂质污染风险，是洁净真空系统里适配性较好的气动隔离阀门。