进口原厂MIYUKI美幸辉气动真空控制阀
进口原厂MIYUKI美幸辉气动真空控制阀
G-I80 气动伺服真空蝶阀,依靠洁净压缩空气驱动伺服气缸,实现 0°~90° 任意开度锁定,完成真空管路流量连续调控。适用区间覆盖常压至 1×10⁻⁶Pa,适配中高流量真空腔体与工艺管路,广泛配套光学镀膜、半导体、锂电新材料、精细化工自动化产线,用于腔体真空压力动态平衡、载气流量微调。阀体洁净构造,低微粒析出,契合洁净真空制程。
特点
气动伺服无级流量调控
0~90° 开度连续可调,可配合真空计搭建 PID 闭环稳压系统,稳定腔体真空度,降低工艺波动带来的品质差异。
球面多点压紧密封结构
正向、反向压差工况均可维持密封性能,保压表现稳定。
洁净低释气设计
内腔镜面抛光,无积尘死角,方便清洁,适配镀膜、锂电、半导体洁净制程。
安装灵活、布局便捷
水平、垂直、侧向均可装配,适配各类反应釜与真空管路布局。
运维压力可控无复杂电机驱动结构,相比电动调节阀采购成本与运维投入更为友好。
应用场景
光学镀膜、溅射蒸镀产线真空压力连续调控;2. 半导体等离子工艺、UV 树脂、光刻胶、锂电涂布液生产设备;3. 胶粘剂、功能性涂料多条连续化真空合成生产线;4. 中试反应设备、高校科研真空实验平台压力调节。
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