日本爱发科ULVAC LR421-T 多级罗茨干泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC LR421-T 多级罗茨干泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC LR421-T 多级罗茨干泵 深圳京都玉崎现货

PVD/负载锁室快速排气怎么选？ULVAC LR421-T系列，多级罗茨干泵，低温均热化+快速排气+洁净无油

开篇：PVD腔体排气太慢产能上不去？LR系列低温均热化才是关键

PVD工艺、负载锁室排气、溅射镀膜、蒸镀——这些场景需要的是快速排气、洁净无油的干式真空泵。很多工程师选干泵只看抽速，忽略了泵体温度分布对排气效率的影响。泵体温差大时，可升华废气物质会凝结在泵内，导致排气效率下降、泵体腐蚀。

更隐蔽的坑：LR系列的核心技术是低温区域均热化。通过的铝合金设计使泵体内部温度分布极其均匀，让废气以气态形式排出，不凝结、不腐蚀。选型时如果不看工艺类型，把LR系列用在CVD/刻蚀等高温工艺上，虽然也能用但不如HR系列。另外LR系列大号型号（LR300及以上）是组合机型（干式真空泵+机械增压泵），不是单台泵，买回去要确认安装空间。

ULVAC LR60 / LR90 / LR180 / LR421 / LR300 / LR600 / LR1200 / LR1800 / LR3601 多级罗茨型干式真空泵，通过低温区域的泵体均热化设计，在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的负载锁室排气。抽速覆盖62~3200 m³/h。

九款型号核心参数对比

数据来源：ULVAC SHOWCASE规格页、ULVAC越南*、ULVAC爱发科经销商

注1：冷却水要求——供给压力0.1~0.3 MPa（LR60）或0.2~0.5 MPa（LR90及以上），出入口压差>0.1 MPa（LR60）或>0.2 MPa（LR90及以上）
注2：氮气要求——供给压力0.1~0.5 MPa，调节压力0.05~0.1 MPa

数据来源：ULVAC爱发科经销商、玉崎科学仪器

注1：LR300/600/1200/1800的MBP（机械增压泵）转子叶片可选择表面处理
注2：LR3601-T (TT)、LR3601-R、LR3601-TR (TTR)为LR3601的子型号变体

一、LR60：小型多级罗茨干泵，PVD/负载锁室入门标配

LR60 *抽速 62 m³/h（50Hz）/ 80 m³/h（60Hz） ，极限压力 5.0 Pa。适合小腔体、对洁净度和快速排气有要求的场景——小型溅射设备、蒸镀设备、负载锁室。

• 重量 180 kg

• 吸气口径 VG50 (KF50) ，排气口径 KF40

• 电源：三相 200V (50/60Hz) / 220V (60Hz) 

• 稳定时电流 6.9 A (at 200V) ，*负荷电流 7.3 A (at 200V) 

• 冷却水流量 >5.0 L/min

• 氮气吹扫（轴）5 SLM，气镇 0~45 SLM

• 瞬停对策：可承受*长 500ms 的电源中断

适合谁：小型溅射设备、蒸镀设备、负载锁室排气、涡轮分子泵前级、机械增压泵前级。

二、LR90：中型多级罗茨干泵主力

LR90 *抽速 112 m³/h（50Hz）/ 126 m³/h（60Hz） ，极限压力 5.0 Pa。抽速比LR60提升近一倍，适合中等规模真空设备。

• 重量 245 kg

• 吸气口径 VG80 (KF50) ，排气口径 VG50

• 稳定时电流 11.2 A (at 200V) ，*负荷电流 11.8 A (at 200V) 

• 冷却水流量 >4.0 L/min

• 无气镇功能

适合谁：中型溅射设备、蒸镀设备、负载锁室排气、涡轮分子泵前级。

三、LR180：中大型多级罗茨干泵

LR180 *抽速 183 m³/h（50Hz）/ 237 m³/h（60Hz） ，极限压力 5.0 Pa。适合大腔体、高抽速需求的PVD/负载锁室场景。

• 重量 335 kg

• 吸气口径 VG100

• 电源：三相 180~240V / 380~440V (50/60Hz) 

• 稳定时电流 18.9 A (at 200V) ，*负荷电流 20.6 A (at 200V) 

• 冷却水流量 >4.0 L/min

• 气镇 0~45 SLM

适合谁：大型溅射设备、蒸镀设备、负载锁室排气、机械增压泵前级。

四、LR421 / LR421-T：大抽速多级罗茨干泵

LR421 / LR421-T *抽速 440 m³/h（50Hz） ，极限压力 5.0 Pa。抽速是LR180的两倍多，适合大型真空系统。

• 重量 415 kg

• 电源：三相 180~240V / 380~440V (50/60Hz) 

• 稳定时电流 20.8 A (at 200V) ，*负荷电流 48.5 A (at 200V) 

• 冷却水流量 >4.0 L/min

• 气镇 0~45 SLM

• LR421与LR421-T的区别：T型为特定规格变体

适合谁：大型溅射设备、蒸镀设备、负载锁室排气、涡轮分子泵前级。

五、LR300~LR3601：组合机型，机械增压泵+干式泵成套

LR300及以上型号为干式真空泵+机械增压泵（MBP）的组合机型：

数据来源：ULVAC爱发科经销商、玉崎科学仪器

核心特点：

• 极限压力大幅提升至 0.67 Pa（比LR60~LR421的5.0 Pa低一个数量级）

• 吸气口径更大（VG80~VG150），适配大型真空系统

• MBP表面处理可选（LR300/600/1200/1800）

• 适合大型PVD设备、大规模负载锁室排气场景

适合谁：大型溅射/蒸镀生产线、大规模负载锁室、半导体制造设备、大型真空系统。

六、LR系列共同优势：低温均热化 + 氦气密封 + 瞬停对策

LR系列是ULVAC多级罗茨型干式真空泵，通过低温区域的泵体均热化设计，在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的负载锁室排气。六大核心优势：

• 低温区域均热化：ULVAC的铝合金设计使泵体温度分布极其均匀，有效防止废气凝结，保持稳定排气性能

• 氦气密封：搭载屏蔽电动机形成密闭结构，安全且易于维护

• 瞬停对策：可承受*长 500~1000ms 的电源中断

• *的耐腐蚀性：主要零部件采用高表面硬度和高耐腐蚀性的特殊表面处理，降低腐蚀性气体对泵内部的腐蚀

• 通信功能：可读取泵运转状态数据、警告/报警履历，支持集中监控

• 低噪音：LR180噪音低至 68.5 dB（相比PDR-180C的74dB显著降低）

七、工程师选型避坑：LR系列怎么选

选型四步法：

1. 确认工艺类型：PVD/负载锁室/溅射/蒸镀 → LR系列（低温均热化）；CVD/刻蚀高温工艺 → HR系列（高温均热化）；需要加热泵体/管路 → UR系列

2. 算抽速：小腔体（62 m³/h级）→ LR60；中型（112~183 m³/h级）→ LR90/LR180；大型（440 m³/h级）→ LR421；大型（359~3200 m³/h级）→ LR300~LR3601组合机型

3. 确认组合机型构成：LR300及以上为干式泵+机械增压泵组合，体积和重量较大，需确认安装空间

4. 确认厂务条件：需提供冷却水（>4.0~5.0 L/min） 和氮气吹扫（5 SLM） 

*不能做的事：

• LR300及以上组合机型当成单台泵购买——是干式泵+机械增压泵成套，体积大

• 冷却水流量不足——过热损坏

• 氮气吹扫不供应——密封效果下降

• 抽大量粉尘或腐蚀性气体不加装前置过滤器——损坏泵体

• 瞬停时未处理——泵可能停机

• LR系列用在CVD/刻蚀高温工艺——应选HR系列（高温均热化）

八、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：LR系列 订货3~4周

• 配套一站式采购：MBP机械增压泵、消音器、KF/ISO-K法兰管路、冷却水系统配件、氮气吹扫控制系统

• 技术支持：免费提供LR/HR选型对比建议、抽速计算、冷却水/氮气条件评估、安装指导

九、落地适配全场景

• 真空镀膜：溅射设备、蒸镀设备、PVD工艺

• 负载锁室：缩短负载锁室排气时间，提高产能

• 前级泵：涡轮分子泵前级、机械增压泵前级

• 半导体制造：半导体工艺腔体排气

• FPD/光伏：面板镀膜、硅片制程

十、结尾转化

PVD/负载锁室快速排气选型怕型号太多分不清、怕组合机型买错？

ULVAC LR60 / 90 / 180 / 421 / 300 / 600 / 1200 / 1800 / 3601 多级罗茨型干式真空泵，深圳京都玉崎订货直发，工程师可协助出具《LR系列选型确认表》。

立即私信或留言，发送您的工艺类型（PVD/负载锁室）+ 腔体容积 + 目标抽速，我们免费出具选型建议！