干泵很早就出现了但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说一般通用的说法是:能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作;在泵的抽气流道(如泵腔)中不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通能连续向大气中排气的泵即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。德国莱宝LEYBOLD干泵腔内无任何润滑油，四对断面相同的转子，分别在它们各自的泵腔内固定在两个平行的轴上，用一对时限齿轮把它们连接并调整到使它们相互不接触，有一定的间隙。德国莱宝LEYBOLD干泵工作时，泵腔容积不断周期性地发生变化，由大到小和由小到大，这样利用气体通道的启闭作用实现抽气作用，并且采用拼接成套的结构，细小杂质和灰尘可通过气道和气体一起排出泵外，泵的连续工作大入口压力为5000Pa，可直排大气。
德国莱宝LEYBOLD干泵的分类：
现在市场上提供的干泵种类很多。就其基本原理来分只有两类即:
①容积式的无油真空泵例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种德国莱宝LEYBOLD干泵的极限压力一般为0.1～10Pa抽速为0.01～0.04m3?s。
②动量传输式的无油真空泵如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa抽速为0.02～0.15m3?s。牵引型干泵也属于动量传输式的干泵。
这些干泵和油封式机械泵相比达到同样的极限压力其残余气体成分则全然不同经分析结果明油封泵的残余气体CnHm气体(碳氢化合物气体)为其主要成分而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干泵的抽气不再有油的污染了。
有些干泵在结构设计上如泵的传动齿轮和轴承等仍在使用润滑油也有用合成油如PFPE油和其油脂等并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔内不存在严格来说不是全无油的泵但经分析这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的并无影响。
优势：从大气进入极限真空可保持连续运行；的热曲线和温度控制；可耐受液体和微粒；不会造成工艺污染；高且环保；功率低；不产生污水；干式运行机械装置；设计追求可靠性和易维护；可以用水或溶液清洗；去除了压缩板，可以更好地处理灰尘；转子设计均衡；标准附件模块；油经过冷却和过滤；
德国莱宝ECODRYM系列活塞式干泵
Ecodry系列为欧瑞康莱宝新推向市场的一种干式泵。它可以满足除半导体行仪以外的所有干式真空的需要。由于它相对于其他干式泵来说，结构简单，价合理，因此刚一面市、即受到广大格用户的欢迎。
德国莱宝LEYBOLD干泵Ecodry活塞式干泵的主要技术参数：
抽速：14m3/h～30m3/h
极限真空度：5.5×10-2mbar
排水蒸气能力：25mbar(大)
Ecodrg活塞式干泵的主要特点：
1、结构简单，易于操作和维护；
2、工作过程中不产生粉尘；
3、耐粉尘，排水蒸气能力强；
4、低能耗，坚固耐用，可靠性高；
5、可以选配变频器增大抽速；
德国莱宝LEYBOLD干泵典型应用：质谱仪，电子显微镜，照明，镀膜，loadlock，无油高真空前级泵等。
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