在纺织工厂的着色工艺、混凝土产品的蒸汽养护工艺、烟草、食品、造纸、木材干燥、石膏板、铅蓄电池电极、钽电容生产过程等高温环境的湿度管理中，可使用氧化锆高温湿度分析仪。 由于不含可燃气体的高温气体由氧气浓度为21%的空气及水份构成，所以可以根据因水份而稀释的氧浓度来计算水份含量。 利用此原理，氧化锆氧分析仪可作为高温湿度(水份)分析仪使用。
钽电容生产过程中的“加湿分解工艺”质量控制示例
