虽然大气的氧气浓度为20.6%，但是如果测量会发现仪表空气中的氧气浓度为21%，有明显差异。仪表空气只是将大气进行了压缩，理论上，仪表空气的氧气浓度应该与大气的一致，为什么实际却不同呢？
产生差异的原因是湿度。仪表空气为干燥状态，而大气通常含有相对湿度为70%左右的水份，因此由于水蒸气的缘故，氧气浓度约降低为20.6%。
例如:
常温(23℃)下的饱和蒸汽压为0.02864kg/cm²。大气压为1.0332kg/cm²，所以相对湿度为的空气中含水蒸气的体积是:
0.02864/1.0332 × ＝2.77%
此时求得的氧气浓度虽然是20.42%，但由于通常相对湿度约为70%，所以实际浓度应为20.6%。
因此，在需要严格测量氧气的情况下，必须考虑湿度的影响。
利用此原理，氧化锆氧分析仪可作为高温湿度(水份)分析仪使用。
