| 项目 型号 | TCK-180型 | |
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X轴 气浮直线导轨 |
气浮形式 | 开式 |
| 移动精度 | ≤0.5um/80mm | |
| 光栅尺 | 精度 | 0.1μm(可选) |
| 产地 | 国产 | |
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高性能电感 传感器 |
量程 | 12mm(可扩展) |
| 分辨率 | 0.01μm | |
| 测量范围 | X轴 | 140mm |
| Z轴 | ≤300mm | |
| 工件重量 | ≤15Kg | |
| 系统分辨率 | 65536:1 | |
| 工作台移动速度 | 0.05-0.4mm/s | |
| 机械调速(分三档) | ||
| 工作环境 | 工作温度:10℃-30℃(常温)湿度20-80%RH 无明显震源 | |
| 所需电源 | 220V 50Hz 0.5Kw 单独地线 | |
| 所需气源压力 | 纯净压缩空气≥0.5Mpa | |