经科学电工研究所电子束曝光技术研究组几十年不断努力和探索，特别是攻克了“图形发生器”和“定位工件台”等关键技术后，为各位从事微、纳米技术研究的*提供了既具有微、纳米图形分辨率，系统简单又价格低廉的电子束曝光系统。 电子束曝光系统=（DY-2000A）纳米通用图形发生器+SEM