任何方向类型 TG-F 系列
使用油脂润滑球轴承,用于小型、轻便和低成本的泵。抗冲击设计使涡轮分子泵能够安装在移动设备或运动部件上。产品阵容提供从 50 L/s 到 2400 L/s 的型号。
润滑脂润滑球轴承型涡轮分子泵的横截面

产品阵容
TG1100F

■ 任何方向
■ 紧凑的尺寸
■ 节能
■ 快速启动
■ 带排气口快速关闭
■ 用于涌入空气的耐用结构
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
■ 通过安全标准NRTL/SEMI-S2/CE
应用
■ 半导体生产
■ 电子枪排气、电离源排气
■ FPD制造
■ 表面处理、表面改性
■ 各种电子元件的制造
■ 分析、检测设备
■ 灯具生产、光学元件生产
■ 加速装置、辐射设施、核聚变研究
■ 热处理
■ 研究与开发
*如果排出腐蚀性气体,请选择我们的化学用TG-M或TG系列。
规格
尺寸
性能曲线
控制器
| 型 | TG1100F | TG1100F*A*-60 TG1100F*W* | |
| 入口法兰 | VG200 ISO-B200 CF200 | ||
| 体积流量 | N2(长/秒) | 1100 | |
| N2 (带防护 屏)(长/秒) | 1000 | ||
| H2(长/秒) | 720 | ||
| *压缩 比 | N2 | 1×108 | |
| H2 | 1×104 | ||
| 基础压力 | (宾夕法尼亚州/托尔) | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
| * 吞吐量※1※2 | (SCCM) | 330 | 860 |
| 启动时间※2 | (分钟) | 7-9 | 5.5-7 |
| 关机时间※2 | (分钟) | 27-32 | 12-15 |
| *背 压 | (宾夕法尼亚州/托尔) | 330/2.5 | |
| 的 前级真空泵 | (升/分钟) | ≧250 | |
| 位置 | 任何 orentation | ||
| 重量 | VG・ISO-R/CF(kg) | 28/27 | |
| 控制器 | TC1104型 | TC1103型※3 | |
*1 : 使用500L/min的前级真空泵时*
2 : 因电源型号而异。(标准:TC1104)
*3 : 如果风冷,则必须更换风冷风扇。(TG1100F***-60)
[使用环境温度]
确保您达到极限压力的环境温度范围为 10-23°C。风冷型允许环境温度为10-32°C,水冷型允许环境温度为10-40°C。保证极限压力的冷却水*温度为30°C,冷却水允许温度范围为10-35°C。
[对应气体]
一些使用气体会使润滑脂和内部零件变质。请联系 Osaka Vacuum 获取适用气体类型的列表。
