在线式线扫描薄膜厚度计

一、产品概述

在线式线扫描薄膜厚度计是面向卷材薄膜连续量产产线开发的全域膜厚在线监测设备，融合光谱干涉检测技术与高速并行运算处理算法，搭载线性扫描光学测头，可同步采集薄膜幅宽、走膜长度全区域厚度数据，实现卷材整幅面 2D 膜厚分布实时测绘，适配光学膜、光伏膜、电子特气功能薄膜、锂电涂布薄膜 24h 不间断闭环工艺管控。

二、核心硬件技术参数

1. 检测扫描性能

• 单台设备*有效测量幅宽：500mm，多机组拼接可拓展宽卷材产线

• 测量采样间隔：*短 0.001s，匹配高速走膜产线无漏检

• 扫描方式：线性同步扫描，同步覆盖薄膜宽度、长度双方向全域点位

• 检测原理：光谱干涉法，搭配 MCPD 系列多通道光谱仪采集反射光谱，拟合膜厚与光学常数

2. 机械结构配置

• 龙门式线性移动滑台，测头沿幅宽高速往复扫描；

• 工业级防尘防水机身，适配涂布、镀膜、特气产线粉尘、轻微腐蚀工况；

• 嵌入式工控主机，自带以太网 / RS485 工业通讯接口，直连产线 PLC、MES 系统。

3. 光学与耗材配置

• 测头光路：SUS316L 低析出镜面光路，无死角减少粉尘堆积；

• 配套核心采集单元：MCPD 系列多通道光谱仪；

• 真空配套：V-KF 系列 KF 真空波纹管、法兰配件（真空镀膜产线配套）。

4. 测量精度纳米级重复测量误差，多层复合膜同步解析各层厚度，实时输出膜厚分布云图。

三、核心技术优势

1. 全域二维扫描，完整还原卷材膜厚分布

区别单点固定式膜厚监测设备，线性扫描测头沿薄膜幅宽往复移动，同步采集长度方向走膜数据，生成完整 2D 膜厚云图，*定位幅宽边部、中间、局部偏厚 / 偏薄缺陷，杜绝单点采样漏判不良品。

2. 微秒级极速采样，适配高速量产产线

*短 0.001s 测量间隔，匹配高速涂布、卷对卷镀膜生产线，卷材高速走膜过程无数据丢失，全程不间断在线监测，无需降速停机抽检。

3. 光谱干涉 + 高精度拟合算法

独有薄膜光学干涉检测光路，搭配新一代多层膜运算处理技术，可*解析波长相关多层复合膜，同步输出每层厚度、折射率、消光系数，解决光学膜、特气功能涂层多层结构检测难题。

4. 工业嵌入式在线集成设计

龙门机架可直接安装于产线涂布 / 镀膜工位后方，整机工业级防尘抗振，适配车间连续生产环境；数字通讯直连产线控制系统，膜厚差自动报警，联动涂布机、镀膜机调节工艺参数，实现闭环生产管控。

5. 洁净低析出光学系统

光路、接触件采用不锈钢镜面抛光，无金属粉尘脱落，不会污染光学薄膜、光伏基材、晶圆卷材，满足无尘车间洁净生产标准。

四、核心功能

1. 卷材薄膜幅宽、长度全域二维膜厚在线连续测量，生成厚度分布云图；

2. 高速微秒级采样，适配高速卷对卷量产产线，无漏检、无数据延迟；

3. 多层复合薄膜各层厚度、光学常数高精度拟合分析；

4. 膜厚异常实时预警，联动产线设备自动修正涂布 / 镀膜工艺参数；

5. 全时段膜厚数据本地存储、云端上传，完整留存工艺数据用于品质溯源；

6. 兼容真空镀膜、电子特气产线，可搭配 V-KF 真空管路配件接入密闭腔体。

五、典型应用场景

1. 光学薄膜行业：偏光片、增透膜、分光膜卷对卷镀膜产线全域膜厚监控；

2. 光伏产业：透明导电 ITO 膜、钝化涂层、制绒卷材连续生产线在线质检；

3. 电子特气 / 半导体：特气功能薄膜、晶圆保护膜、CVD 卷膜产线实时厚度监测；

4. 锂电涂布行业：正负极涂布隔膜、固态电解质卷材全域厚度扫描；

5. 科研中试产线：*功能薄膜连续涂布中试设备，膜厚均匀性在线评估。