日本 ORC UV-M03A 手持式 UV 光量计 半导体 PCB 汞灯曝光检测仪

一、产品概述

UV-M03A 是日本 ORC 奥克制作所经典分体式手持紫外能量计，为传统汞灯式曝光设备检测仪器，是老款 UV-M02 的升级替代机型，主打小型轻量化机身，适配 PCB、半导体、液晶面板传统汞灯 UV 曝光产线，可同步测量实时辐照度与累积曝光光量，搭配可更换式接收器探头，适配不同波段紫外光源与光刻胶感光特性。整机分体结构：UV-M03A 显示主机 + 可拆卸系列受光器（UV-SD/UV-SN 系列探头）。

二、核心技术参数

1. 标配组合：主机 UV-M03A + UV-SD35（标准 350nm 波段探头）

2. 标准测量波段：310~385nm（峰值 350nm，适配传统高压汞灯）

3. 测量量程

• 辐照度：0.001 ~ 50 mW/cm²

• 累积光量：0.001 ~ 19999 mJ/cm²

4. 测量精度：对比 ORC 标准紫外源误差≤±1.5%，重复精度 ±1.5% 内

5. 供电：2 节 5 号 AA 干电池，支持 AC100~240V 外接电源连续监测

6. 机身尺寸 / 重量：主机 71 (W)×151 (D)×29 (H) mm，仅 160g；探头 35×55×18mm，50g

7. 数据输出：RS232C 数字串口、0~1V 模拟电压输出，可对接电脑、产线 PLC 存储数据

8. 工作环境：0~60℃，无尘车间、曝光机设备腔体均可使用

9. 附加功能：自动关机、开机记忆、一键清零光量、多量程自动适配

三、可更换接收器探头分类（按需选配）

根据光源、光刻胶类型区分三大光谱系列：

1. UV-25 系列（UV-SD25/SN25）240~280nm 深紫外波段，适配 UVC 清洗、去胶设备、短波长汞灯

2. UV-35 系列（UV-SD35/SN35，出厂标配）310~385nm 主流 UVA 波段，半导体、PCB、液晶标准汞灯曝光通用款

3. UV-42 系列（UV-SD42/SN42）350~450nm 长波紫外，适配厚膜光刻胶、低感光度 UV 油墨固化设备

细分后缀说明：

• SD 标准款：通用实验室、小型曝光机

• SN 半导体款：光谱匹配晶圆光刻胶，半导体产线优先选用

UV-25光谱响应曲线

UV-35光谱响应曲线

UV-42光谱响应曲线

四、五大核心产品优势

1. 轻手持便携设计，产线巡检高效

整机仅 160g 单手可握，分体微型探头可伸入密闭步进曝光机、立式汞灯曝光腔体，无需拆机即可检测工作面真实紫外能量。

2. 模块化可换探头，一台设备适配多制程

更换不同波段探头即可覆盖 UVC 清洗、350nm 晶圆光刻、长波油墨固化全工序，无需多台检测仪，降低采购成本。

3. 双数值同步检测，管控曝光工艺良率

同时读取实时照度、累积光量，*管控汞灯光源衰减，避免因光照不足 / 过量造成线路断线、显影不良等晶圆、PCB 报废问题。

4. 双路数据输出，适配自动化产线管控

RS232 串口导出检测数据，模拟电压信号对接工厂控制系统，实现 24 小时在线光源监测，自动记录设备点检数据。

5. 原厂计量校准，满足审厂合规要求

每台主机、探头独立出具 JCSS 可溯源校准证书，检测数据可作为半导体、PCB 工厂品质管控、客户稽核有效凭证。

五、主流应用场景

1. 半导体封装 / 前段光刻（汞灯机型）老式晶圆步进汞灯曝光机、载板光刻设备光源点检，管控 RDL 布线、凸块光刻工艺稳定性；

2. PCB 线路板制造内层、外层线路曝光、阻焊油墨固化产线汞灯能量每日巡检；

3. 液晶面板、触摸屏制程彩膜、TFT 阵列紫外曝光设备、偏光片 UV 固化光源校准；

4. 实验室研发传统汞灯光源、光刻胶感光性能配方测试；

5. 设备出厂验收、年度维护校准新汞灯曝光设备出厂检测、灯管更换后、车间年度设备点检。

六、与 UV-LED-01 系列核心区分

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