ORC UV-M03A 汞灯紫外能量照度计

UV-M03A主机实拍

设备正面图

全套收纳套装

一、产品基础概述

UV-M03A 是日本 ORC 奥克制作所传统汞灯分体式紫外检测仪，替代老款 UV-M02 机型，主打小型轻量化手持设计，用于高压汞灯曝光设备的实时辐照度、累积曝光光量管控。采用可更换模块化接收器探头，适配 UVC 深紫外、标准 350nm 光刻、长波 UV 固化三类不同波段汞灯光源，广泛用于半导体、PCB、液晶面板传统汞灯产线品质点检。整套由UV-M03A 显示主机 + 可替换 UV-SD/SN 系列受光接收器组成，无法单独使用探头。

二、核心技术参数

1. 标配组合：主机 UV-M03A + UV-SD35/UV-SN35（310~385nm 标准波段探头）

2. 测量波段

• UV25 系列：240~280nm（UVC 清洗 / 去胶）

• UV35 系列：310~385nm（峰值 350nm，半导体 / PCB 通用标配）

• UV42 系列：350~450nm（长波厚膜光刻胶、UV 油墨固化）

3. 测量量程辐照度：0.001~50 mW/cm²累积光量：0.001~19999 mJ/cm²

4. 测量精度：对比 ORC 标准紫外源误差≤±1.5%，重复精度 ±1.5% 以内

5. 供电方式：2 节 5 号 AA 电池；可选 AC100~240V 外接电源持续在线监测

6. 尺寸重量主机：71 (W)×151 (D)×29 (H) mm，整机 160g接收器探头：35×55×18mm，仅 50g

7. 数据输出RS232C 数字串口（电脑存储数据）、0~1V 模拟电压输出（对接产线 PLC）

8. 工作环境：0~60℃，适配无尘车间、曝光机高温内腔环境

9. 附加功能：10 分钟自动关机、一键光量清零、多量程自动切换、开机参数记忆

三、接收器探头选型区分（SD/SN 后缀含义）

1. UV-SD 系列（标准通用款）

适配普通 PCB 产线、实验室小型汞灯曝光机，光谱匹配常规工业光刻胶，高。型号：UV-SD25 / UV-SD35 / UV-SD42

2. UV-SN 系列（半导体款）

原厂针对晶圆光刻工艺优化光谱响应，数据兼容性匹配 ORC 全系步进汞灯曝光设备，*封装、液晶面板产线*。型号：UV-SN25 / UV-SN35 / UV-SN42

四、产品五大核心优势

1. 轻便携分体结构，腔体无损检测整机仅 160g 单手操作，微型薄探头可伸入密闭汞灯曝光机内腔，无需停机拆机，直接采集晶圆 / 载板工作面真实紫外能量，缩短产线点检工时。

2. 模块化可换探头，一台覆盖全制程仅更换探头即可切换 UVC 清洗、350nm 晶圆光刻、长波油墨固化三大工序，无需采购多台检测仪，大幅降低设备采购成本。

3. 双参数同步监测，稳定管控曝光良率同步读取实时照度 + 累积曝光光量，*追踪汞灯灯管衰减，提前预判光源老化，避免光照异常造成线路断线、显影不良、晶圆报废。

4. 双路数据输出，适配自动化量产产线数字串口导出检测报表，模拟电压信号对接工厂中控 PLC 系统，实现 24 小时在线光源监测，自动存储车间点检记录。

5. 原厂 JCSS 可溯源校准，满足审厂合规主机与探头均独立出具原厂计量校准证书，检测数据可溯源日本*计量标准，设备验收、客户稽核、品质管控均可直接作为合规凭证。

五、核心应用场景

1. 半导体后段封装（汞灯机型）老式晶圆步进汞灯曝光机、载板光刻设备日常点检，管控 RDL 重布线、微凸块光刻工艺稳定性；

2. PCB 线路板制造内层线路、外层图形曝光、阻焊油墨固化产线汞灯光源每日巡检；

3. 液晶 / TFT 显示面板制程彩膜阵列、偏光片 UV 固化、触摸屏光刻曝光设备光源校准；

4. 实验室材料研发传统汞灯光源测试、各类光刻胶光敏性能、UV 树脂固化配方评估；

5. 设备验收与年度维护新汞灯曝光设备出厂检测、灯管更换后、车间年度设备点检校准。

六、UV-M03A 与 UV-LED-01 系列核心区别

表格