深圳京都玉崎推出ULVAC爱发科涡旋式干泵DIS-501
来源：深圳市京都玉崎电子有限公司
发布时间：2026-06-17 16:51:50
•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
结构紧凑，排气量大。 干式真空泵的*压力水平。 内置自动复位型热保护器（单相用）安全设计。。 通过空气冲洗抑制水分凝结。。 分析设备 气体回收系统 涂装设备 TMP的背泵 氦气检漏仪 半导体制造工艺特点
用途
※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。 ：标准、○：可选对应、－：对应不可 １ 粉末和生成物吸入会导致泵损坏。 ２ 吸入有害气体如爆炸性气体，易燃气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。 ３ 三相规格没有电机保护功能。规格
Unit 50Hz 60Hz 设计排气速度度※1 L/min 500 600 极限压力 Pa 1 使用电动机※2 单相 100/115/200/230V, 600W, 4P , 电容器启动・運転 三相 200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P 全负荷电流 单相 A 8.5/4.3/3.9 10.0/8.6/4.8/4.0 (100/200/230V) (100/115/200/230V) 三相 2.7/1.57/1.57/1.63 2.8/2.6/2.5/1.47 (200/380/400/415V) (200/208/230/460V) 重量 单相 kg 44 三相 38 吸气口径 KF-40 排气口径 KF-25 使用环境温度范围 ℃ 5～40 水蒸气处理量 g/day ≦25以下（AF开时※3, 室温25℃, 湿度60％以下） 噪音水平 单相 dB ≦62（AF開時※3, ≦70） 三相 ≦60（AF開時※3, ≦68） *尺寸 单相 mm 290(W)×443(L)×397(H) 三相 292(W)×372(L)×397(H)
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。对应标准/电压
型号 标准※ ＣＥ自我宣言 1Φ
100V系1Φ
200V系3Φ
200V系3Φ
400V系DIS-501 cTUV
（可以通过更换端子板切换）
（可以通过更换端子板切换）
※ｃＴＵＶｕｓ ： 本产品是通过国际第三方产品安全测试和，符合美国标准的高质量产品。使用上的注意
请使用吸气阱。
请务必安装保护装置，如漏电断路器。
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