Otsuka 大塚 MCPD-9800/6800 多通道光谱仪 紫外近红外高速分光光度计薄膜光源光谱检测器

一、产品概述

MCPD-9800/6800 系列多通道光谱仪是 Otsuka 全系列光学检测设备的核心光谱探测主机，属于多功能多通道分光光度计，覆盖紫外 - 可见光 - 近红外完整光谱区间，仅 5ms 即可完成一次全域光谱采集；配套标准光纤可灵活对接各类测头、积分球、真空腔体、显微模组，兼容发射、透射、反射、椭偏、薄膜测厚、色度检测多类测量场景，是照明、半导体、光学薄膜、紫外产业通用光谱采集核心单元。

二、核心硬件参数

1. ：Otsuka 大塚

2. 型号：MCPD-9800、MCPD-6800 多通道光谱仪

3. 设备分类：分光光度计（多通道光谱检测器）

4. 光谱波段：紫外 UV～可见光 VIS～近红外 NIR 宽波段覆盖

5. 采集速度：单次全光谱测量仅 5ms，高速实时采集适配产线在线监测

6. 光路接口：标准通用光纤接口，可搭配各类光纤测头、积分球、显微光路

7. 支持测量模式：显微光谱、光源发射光谱、透射光谱、反射光谱

8. 拓展软件功能：配套软件实现物体色彩评估、单层 / 多层薄膜厚度拟合计算

9. 整机结构：台式工控一体化主机，工业通讯总线，可嵌入产线设备、离线实验室平台

10. 工况适配：可搭配 V-KF 系列真空光纤组件，用于真空腔体原位光谱检测

三、核心技术优势

1. 5 毫秒高速并行光谱采集

多通道并行分光架构，单次捕获全波段光谱仅 5ms，适配高速抛光、高速卷材、晶圆 CMP 动态加工实时在线监测，不会因样品高速运动丢失光谱数据。

2. 紫外至近红外全波段一体化覆盖

一套设备覆盖深紫外、可见光、近红外，无需更换光路模块，同时满足紫外 LED、照明灯具、红外基材、半导体薄膜多品类样品光谱采集，减少多台光谱主机投入。

3. 通用光纤模块化拓展，系统兼容极强

标准光纤接口无测量系统限制，可自由搭配积分球、旋转测角台、显微测头、真空光纤探头，适配光通量、光分布、椭偏、薄膜厚度、色度全品类检测设备。

4. 一机多用途，覆盖全链条光学检测

兼顾光源发射光谱、材料透射 / 反射光谱、显微微区光谱，搭配对应软件可同步完成色彩均匀性评估、薄膜纳米级厚度解析，兼顾研发实验室、量产产线两类场景。

5. 工业级稳定连续运行

抗振动、低噪声电路设计，24h 不间断产线运行光谱基线无漂移，弱光、薄样品测量重复性优异，满足半导体、照明行业严苛计量溯源要求。

四、核心功能

1. 紫外 - 可见 - 近红外高速全波段光谱并行采集，单次测量仅 5ms；

2. 兼容显微光谱、光源发射、透射、反射四大基础光谱测量模式；

3. 配套软件实现物体色彩、色度均匀性量化评估；

4. 光谱干涉、椭偏算法联动，高精度解析单层 / 多层薄膜厚度与光学常数；

5. 光纤模块化拓展，可集成离线台式设备、产线嵌入式在线系统、真空腔体原位检测平台。

五、典型应用场景

1. 照明产业：GP 系列光分布、HM/FM 积分球系统核心光谱采集主机，LED、泛光灯色温、光通量、配光光谱检测；

2. 半导体制造：SF-3 晶圆厚度传感器、GS-300 装载端口测厚系统光谱核心，CMP 抛光、真空镀膜薄膜厚度实时监测；

3. 紫外固化 / 消杀产业：紫外光分布、紫外辐照计、紫外辐射通量系统紫外光谱采集单元；

4. 光学研发实验室：显微光谱、薄膜椭偏、新材料透射反射光谱基础研究；

5. 车载光学：车载大灯、背光模组光谱、色度、配光分布综合测试。

六、同型号机型区分

表格

七、配套搭配方案

1. 前端测量模组：积分球、旋转测角台、显微测头、光纤单点辐照测头；

2. 真空工况配套：V-KF 系列 KF 真空波纹管、密封法兰、无氧铜垫圈；

3. 软件：薄膜厚度分析软件、色度光分布分析软件、晶圆全域扫描软件；

4. 校准耗材：JCSS 标准光源、全波段标准反射片，定期整机光谱精度校准。