探针卡的基础知识

什么是探针卡？

探针卡是半导体制造过程中晶圆级检测所需的一种设备。

它通过将其连接到晶圆检测设备上使用。 虽然半导体成本很大程度上依赖制造设备，但包装体和封装本身的成本在制造阶段也有显著影响。 因此，在半导体制造过程完成后，通过在晶圆层面评估产品质量，并仅将产品送往后续工艺，成本可以得到控制。

在一块晶圆上，数百~数千个芯片排列在一起，晶圆检测涉及在每块切割和包装前对它们进行判断和分类，这正是探针卡的作用所在。

探针卡的用途

晶圆检测包括一个LSI测试仪，它向芯片输入称为测试图样的电信号，并将输出信号图样与期望值进行比较;一个晶圆探头执行芯片级定位控制，将信号连接到每个芯片端子;以及等量的针头（探针），用于对应芯片内数十~数万个电节点 它是通过具有特定特性的探针卡进行的。

因此，探针卡必须为每种芯片设计专门制作，这本身会产生成本，且因磨损及使用其他磨损需要重新制造，但考虑到整体制造成本，这至关重要。 半导体芯片不仅在计算机中被大量使用，也被用于大多数日常产品中，探针卡是支撑这一趋势的支柱。

探针卡原理

探针卡连接到晶圆探针机，作为连接器，通过晶圆探针连接芯片端子和LSI测试仪。

LSI测试头配备弹簧接触针和高密度连接针脚，但半导体芯片端子的放置间距较窄，仅有数十微米，且比测试头的针密度更细，因此必须通过探针卡连接两者。

探针卡的结构

探针卡的上表面连接一个端子用于连接测试头，下表面连接一根针头以连接半导体芯片的端子。

通过将测试头连接到探针卡端子，进一步将半导体芯片端子连接到探针卡针头，建立电气连接。通过根据LSI测试仪的电信号判断质量的优劣，对硅晶圆上的每个半导体芯片进行检测。

探针卡有*探针和悬臂式探针类型。高级型带有垂直端子的块体连接在板上，便于灵活布置探针并便于维护。 悬臂式探针直接安装在板上，无需穿过块，便于处理窄间距端子。