DIC 迪爱生 D-UD-9.52-2 大流量高纯 PFA 直通快插接头

一、产品基础概述

：DIC 迪爱生 SEPAREL UD 大流量高纯管路接头系列型号：D-UD-9.52-2

完整型号释义

1. D-UD：UD 大流量系列推入自锁式 PFA 快插接头，适配大流量脱气模组、湿法设备主供液管路；

2. 9.52：适配软管外径 9.52mm（行业标准 3/8 英寸）PFA/PTFE 高纯软管；

3. 2：直通双通结构，两端均可插接同款 9.52mm 外径软管，用于两段管路直线延长对接。

D-UD-9.52-2 为原厂 PF、EF 大流量脱气模组、316L-EP 高纯隔膜阀、大流量药液过滤器标准配套连接件，面向半导体大流量纯水循环、CMP 研磨液、显影剥离液、工业大流量喷墨、制备色谱水路等高洁净腐蚀流体输送；一体成型高纯 PFA 材质，无金属、无塑化剂析出，兼顾大通流通量、真空密封、广谱耐化学腐蚀三大核心优势，适配设备大流量主回路集成。

二、密封工作原理

采用推入自锁双层 PTFE 密封结构，软管平整切口直接插入接头内腔，双层环形 PTFE 密封圈均匀包覆软管外壁，全域无间隙密封；内部加宽平滑通流道，无台阶、无节流死角，流体通行无涡流积气，不会产生微气泡干扰后端脱气模组、腔体工艺稳定性。徒手插拔免工具，按压尾部锁扣即可快速拆卸软管，设备检修、模组更换拆装便捷，适配洁净室批量装配作业。

三、六大核心产品优势

1. 大通径低流阻，适配大流量循环管路

UD 系列专属加宽内通径设计，相比 SD 6.35mm 小接头通流能力提升一倍，长距离大流量纯水、药液循环管路压力损耗更低，无需额外增压泵，*匹配 PF 大流量脱气模组连续供液工况。

2. 一体高纯 PFA 无析出，满足半导体 SEMI 高纯标准

接头本体一体注塑高纯 PFA 氟树脂，无填充助剂；密封件为高纯 PTFE，全程无金属部件、无橡胶离子溶出，输送纯水、光刻药液、稀释腐蚀试剂不会引入颗粒与金属离子，杜绝晶圆薄膜针孔、清洗不均缺陷。

3. 耐广谱强腐蚀，宽温长期稳定运行

耐受强酸、强碱、卤素有机溶剂、IPA、光刻胶、CMP 研磨液；工作温度区间 0℃~200℃，冷热交替管路无变形、密封不失效，常温药液、轻度升温供液回路均可稳定使用。

4. 高压 / 真空双工况长效零泄漏

额定液侧耐压 0.7MPa；可长期适配脱气模组 - 90kPa 负压真空管路，氦检无渗漏，真空侧不会倒吸空气破坏脱气效果，保障残氧稳定达标。

5. 平滑无死角内腔，杜绝气泡滞留

内部无凸起、无阶梯滞留区，流体全程平顺流动，从源头减少管路微气泡，大幅降低镀膜、清洗、色谱基线波动等工艺不良率。

6. 标准化模块化，成套流体系统*配套

标准 3/8 英寸管路规格，可与 PF-010、PF-020 大流量脱气模组、大口径 316L-EP 隔膜阀、波纹管针阀、药液过滤器成套串联，组成完整大流量高纯流体输送系统。

四、标准规格参数

1. 型号：D-UD-9.52-2

2. 结构：直通双通快插接头

3. 适配软管：外径 9.52mm（3/8"）PFA/PTFE 高纯软管

4. 接液材质：一体成型高纯 PFA 本体 + PTFE 双层密封圈

5. 额定液体耐压：0.7MPa

6. 真空适配：长期 - 60~-90kPa 负压无泄漏

7. 工作温度：0℃ ~ 200℃

8. 拆装方式：徒手推入自锁，按压锁扣免工具拔管

9. 适配配套：DIC PF/EF 大流量脱气模组、大口径高纯隔膜阀、药液过滤器

10. 适配介质：电子级纯水、显影液、剥离液、CMP 研磨液、稀酸碱、有机溶剂、色谱流动相、工业喷墨墨水

五、典型应用场景

1. 半导体湿法大流量供液系统8/12 寸晶圆清洗设备纯水主循环、CMP 研磨液输送、批量显影设备药液回路，搭配 PF 大流量脱气模组、EP 高纯隔膜阀组成完整无气泡流体管路；

2. 制备级液相色谱设备大流量色谱流动相输送，消除管路气泡，稳定检测基线；

3. 工业大流量喷墨设备光伏、PCB、大屏印刷大容量墨水循环管路，避免喷嘴堵塞、喷印瑕疵；

4. 化学精密流体设备中试腐蚀试剂配比、大型真空镀膜药液供给、环保在线监测大流量采样水路。

六、成套流体系统搭配方案

药液储罐 → 大口径 316L-EP 高纯隔膜阀 → D-UD-9.52-2 接头 → PF 系列大流量脱气模组 → D-UD-9.52-2 接头 → 大流量波纹管针阀 → 工艺腔体整套主路全氟洁净连接件 + 大流量脱气模组 + 高纯切断阀门，全程低流阻、无气泡、零离子析出，保障批量量产工艺稳定。

七、产品结

DIC 迪爱生 D-UD-9.52-2 是 UD 系列核心 3/8 英寸大流量高纯 PFA 直通快插接头，依托加宽大通径、一体高纯 PFA 材质、双层 PTFE 真空密封、低死体积无死角流道、免工具快速拆装五大核心优势，作为 PF 大流量脱气模组、湿法清洗主回路原厂标准连接件，专门解决大流量药液、纯水循环管路压降高、气泡滞留、离子污染、真空泄漏痛点。适配半导体湿法设备、制备色谱、大容量喷墨等高洁净大流量流体工况，是中大型量产设备主管路标准化配套*，可搭配 PF、EF 全系大流量脱气模组成套选型。