DIC 迪爱生 DN-913-6.35 外螺纹转 6.35mm PFA 软管高纯转换接头

一、产品基础概述

：DIC 迪爱生 SEPAREL ND 系列高纯氟树脂转换接头型号：DN-913-6.35

完整型号释义

1. DN-913：ND 系列螺纹转软管快插转换接头，一端标准外螺纹、一端推入自锁软管插口；

2. 6.35：适配 ** 外径 6.35mm（1/4 英寸）** 标准 PFA/PTFE 高纯软管；结构：外螺纹 + 单通快插异径转换接头，专为迪爱生全系脱气模组、药液过滤器螺纹端口配套设计。

DN-913-6.35 是 D-ND-6 小型脱气模组、DF 微型药液过滤器原厂标配转接件，一端对接设备 Rc1/4 外螺纹接口，另一端直插 6.35mm 高纯氟软管，一体成型高纯 PFA 材质，无金属离子析出、耐强腐蚀药液，兼顾真空密封、低流阻、免工具拆装优势，适配半导体微型供液、HPLC 液相色谱、工业喷墨小型流体系统。

二、结构与密封原理

1. 一端标准 Rc1/4 外螺纹标准管螺纹，可直接拧紧 D-ND-6 脱气模组、小型过滤器、微型阀组螺纹端口，螺纹内置 PTFE 垫片，拧紧后螺纹处完全密封，负压真空工况不会进气。

2. 一端推入自锁快插插口6.35mm 软管直接插入内腔，双层环形 PTFE 密封圈全包覆软管外壁，全域无间隙密封；按压尾部锁扣即可徒手拔管，无需工具，设备检修、模组更换便捷高效。

3. 内部平滑一体式流道无台阶、无滞留死角，流体通行无涡流积气，不会产生微气泡干扰后端脱气效果，保障残氧稳定达标。

三、五大核心产品优势

1. 原厂配套，*适配 D-ND-6 脱气模组

*匹配小型 ND 系列脱气单元螺纹接口，不用额外转接垫片，成套管路无渗漏、无死体积，小型光刻、清洗机内置集成*。

2. 一体高纯 PFA 材质，低离子析出

接头本体一体注塑高纯无填充 PFA，密封件采用高纯 PTFE；全程不含金属、橡胶助剂，输送电子纯水、显影液、剥离液、有机溶剂不会引入颗粒与金属离子，避免晶圆薄膜针孔缺陷。

3. 广谱耐化学腐蚀，宽温稳定运行

耐受强酸、强碱、IPA、光刻配套有机溶剂；工作温度 0℃~200℃，冷热交替管路不变形、密封不失效，常温药液与轻度升温供液回路均可长期使用。

4. 高压 / 负压双工况长效密封

液体侧额定耐压 0.7MPa；可长期适配脱气模组 - 60~-90kPa 真空负压管路，氦检无渗漏，杜绝真空倒吸空气破坏脱气效率。

5. 微型紧凑机身，设备小型化集成

体积小巧，可嵌入光刻设备、小型清洗机、色谱仪狭小阀组面板，搭配 D-SD-6.35-2 直通接头组成完整 6.35mm 微型洁净管路。

四、标准规格参数

1. 型号：DN-913-6.35

2. 连接结构：Rc1/4 外螺纹 → 6.35mm 外径 PFA 软管快插

3. 适配软管：Φ6.35mm（1/4"）PFA/PTFE 高纯软管

4. 接液材质：一体成型高纯 PFA 本体 + PTFE 双层密封圈

5. 液体额定耐压：0.7MPa

6. 真空适配：长期 - 90kPa 负压无泄漏

7. 工作温度区间：0℃ ~ 200℃

8. 拆装方式：螺纹端手动拧紧，软管端推入自锁、按压锁扣免工具拔管

9. 原厂适配：D-ND-6 小型脱气模组、DF/DC 微型药液过滤器、小型 316L-EP 高纯隔膜阀

10. 适配介质：电子级纯水、显影液、稀释剥离液、清洗药液、HPLC 流动相、喷墨墨水、稀酸碱有机溶剂

五、典型应用场景

1. 半导体微型供液系统桌面式光刻设备、小型晶圆清洗机内置 D-ND-6 脱气模组配套管路，螺纹口通过 DN-913-6.35 转接 6.35mm 氟软管，组成完整除气泡药液输送回路；

2. 实验室分析仪器高效液相色谱 HPLC 流动相脱气单元转接，消除管路气泡，稳定检测基线、降低噪声；

3. 微型工业喷墨设备PCB、小型柔性屏喷墨墨水循环脱气系统，避免喷嘴堵塞、喷印断线白点；

4. 精密微量化学设备微量腐蚀试剂配比、小型真空镀膜药液供给、环境监测微量采样水路。

六、成套流体系统搭配方案

药液储罐 → 316L-EP 高纯隔膜阀 → D-SD-6.35-2 直通接头 → DN-913-6.35 螺纹转软管接头 → D-ND-6 脱气模组 → DN-913-6.35 → 波纹管高纯针阀 → 工艺腔体整套微型管路全氟洁净连接件 + 低压损脱气模组，全程无气泡、零离子析出，保障微量工艺稳定。

七、产品结

DIC 迪爱生 DN-913-6.35 是 ND 系列螺纹转 6.35mm 软管高纯转换接头，依托原厂适配、一体高纯 PFA 材质、双层 PTFE 真空密封、低死体积平滑流道、微型易集成五大核心优势，专门解决 D-ND-6 小型脱气模组、微型过滤器螺纹口与氟软管之间的转接难题。耐强腐蚀、真空高压双工况不漏液，拆装便捷，是半导体小型设备、液相色谱、微型喷墨等高洁净微量流体管路标准化配套转接件，可与 SD 系列 6.35mm 直通接头成套选型。