DIC 迪爱生 D-SD-6.35-2 PFA 高纯快插直通接头

来源:玉崎半导体(深圳)有限公司
发布时间:2026-06-18 18:51:26

一、产品基础概述

:DIC 迪爱生 SEPAREL SD 系列高纯氟树脂管路接头型号:D-SD-6.35-2

完整型号释义

  1. D-SD:SEPAREL 紧凑型 SD 系列推入自锁式高纯快插接头;

  2. 6.35:适配外径6.35mm标准 PFA/PTFE 软管;

  3. 2:直通双通结构,两端均可插接同款 6.35mm 软管,两段管路直线对接。

D-SD-6.35-2 是原厂配套 D-ND-6、PF、EF 全系脱气模组、316L-EP 高纯隔膜阀、波纹管针阀、微型过滤器的标准管路连接件,专为半导体光刻药液、电子纯水、HPLC 色谱流动相、工业喷墨墨水等高洁净腐蚀流体管路开发。一体成型 PFA 本体 + 双层 PTFE 密封,无金属离子析出、耐强酸碱有机溶剂,真空与高压工况长效密封不漏气漏液,机台狭小空间紧凑集成*。

二、核心密封工作原理

采用推入自锁快插结构,软管直接插入接头内部,双层环形 PTFE 密封圈均匀包覆软管外壁,形成全域无间隙密封;内部流道一体平滑无台阶、无滞留死角,流体流通无积气、无微小气泡产生,不会干扰后端脱气模组、腔体工艺稳定性。拆装无需工具,拔管按压锁扣即可快速拆卸,设备检修、模组更换省时高效,适配自动化设备批量装配。

三、五大核心产品优势

1. 全氟无析出材质,满足半导体高纯标准

2. 耐广谱化学腐蚀,宽温稳定运行

耐受强酸、强碱、卤素溶剂、醇类、酮类光刻配套化学品;工作温度 0~200℃,冷热交替管路无变形、密封不失效,适配常温供液与轻度升温药液回路。

3. 高低压 / 真空双工况零泄漏

额定液侧耐压 0.7MPa;长期负压真空管路稳定密封,氦检漏无泄漏;搭配脱气模组真空侧、药液负压输送管路不会进气,保障脱气效率稳定达标。

4. 平滑无死角内流道,杜绝气泡滞留

内部无阶梯、无凸起节流结构,流体通行顺畅无涡流积气,从源头减少管路微气泡,降低后端清洗、镀膜、色谱基线波动不良率。

5. 小巧紧凑,适配设备微型化集成

轻量化小型机身,并排安装占用空间极小,可嵌入光刻设备、小型清洗机、色谱仪、喷墨机内部狭小阀组面板,*配套 D-ND-6 紧凑型脱气模组成套流体系统。

四、标准规格参数

  1. 型号:D-SD-6.35-2

  2. 结构类型:直通双通快插接头

  3. 适配软管:外径 6.35mm PFA/PTFE 软管

  4. 接液材质:PFA 本体 + PTFE 双层密封圈

  5. 额定耐压:0.7MPa(液体正压)

  6. 真空性能:可长期适配 - 90kPa 负压真空管路无泄漏

  7. 工作温度区间:0℃ ~ 200℃

  8. 拆装方式:推入自锁,按压锁扣拔管免工具拆卸

  9. 配套适配:DIC 全系列脱气模组、316L-EP 高纯隔膜阀、波纹管针阀、微型药液过滤器

五、典型配套应用场景

  1. 半导体微型供液系统搭配 D-ND-6 脱气模组、EP 高纯隔膜阀、精密针阀组成完整光刻 / 清洗流体管路,用于桌面式光刻、小型晶圆清洗机、ALD 微量纯水回路;

  2. 实验室分析仪器HPLC 液相色谱流动相管路、分光光度计试剂输送,避免气泡造成基线噪声、检测数值漂移;

  3. 工业喷墨设备PCB、柔性显示喷墨墨水循环管路,杜绝喷嘴堵孔、喷印断线白点;

  4. 精密化学流体设备微量腐蚀试剂配比、小型真空镀膜药液输送、环保检测采样管路。

六、完整成套流体搭配方案

药液储罐 → 316L-EP 高纯隔膜阀 → D-SD-6.35-2 接头 → D-ND-6 脱气模组 → D-SD-6.35-2 接头 → 波纹管高纯针阀 → 工艺腔体整套管路全氟洁净连接件 + 脱气模组 + 高纯阀门,全程无气泡、无离子析出,保障工艺良率稳定。

七、产品结

DIC 迪爱生 D-SD-6.35-2 是 SD 系列核心 6.35mm 直通高纯快插接头,依托全 PFA 无析出材质、双层 PTFE 真空密封、平滑无死角流道、免工具快速拆装四大核心优势,作为脱气模组、高纯阀门原厂配套标准连接件,*适配半导体、色谱、喷墨等高洁净腐蚀流体微型管路系统。体积小巧易集成、耐化学腐蚀、真空高压双工况长效密封,是小型精密供液设备标准化管路配套*,可搭配 D-ND-6、PF、EF 全系脱气模组成套选型。


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