氧化锆型多点氧浓度计 MS-500/MS-510/SD

一、概述

二、测量原理

1. SD 传感器内置高致密氧化锆陶瓷芯体，加热至约 700℃ 工作温度时，仅允许氧离子定向穿透，形成稳定离子传导通道。
2. 传感器分为被测气侧（真空 / 惰性腔）与参比气侧（大气），两侧氧分压差产生浓差电势，电势值与氧浓度呈对数线性关系。
3. MS-510 转换器高速采集电势信号并换算为氧浓度（0.001ppm～100vol%）或氧分压（10⁻²⁰～10⁰ atm），通过线缆上传至 MS-500 控制器，实现多测点数据集中处理与同步输出。
4. 核心优势：无电解液、无零点漂移、抗污染，支持长期连续在线监测，各测点独立校准、互不干扰，保障多点测量一致性。

三、产品结构与核心特点

（一）模块化分体架构

• SD 传感器（测量端）：直插式紧凑型设计，提供 **NW16/NW25/NW40 真空法兰（SD16NW/SD25NW/SD40NW）** 接口，直接插入真空腔体 / 管道，无需采样系统，耐高温、抗粉尘、防油污。
• MS-510 转换器（信号处理端）：薄壁挂式，就近安装于测点附近，标准 2m 屏蔽线缆（*长 10m）连接传感器与控制器，减少信号衰减。
• MS-500 控制器（集中管控端）：桌面 / 壁挂式，集中显示 1-8 点氧浓度，统一配置参数、输出数据与报警信号，适配狭小安装空间。

（二）核心特点

1. *多 8 点同步测量，高效低成本
   • 单台 MS-500 可连接 1～8 套 MS-510+SD 传感器，同时显示各点浓度，支持多腔体、多管道、多工位并行监控。
   • 各测点独立工作、互不干扰，相比多台单点分析仪，节省 40% 以上设备成本与布线空间。
2. 宽量程 + 高精度，ppb 级稳定测量
   • 测量范围：0.001ppm（ppb）～100vol% O₂；氧分压显示 10⁻²⁰～10⁰ atm，支持自动 / 固定量程切换。
   • 重复性：≥1% 量程时 ±0.5% FS；＜1% 量程时 ±1.0% FS 或 ±0.1ppm（取大值）。
   • 稳定性：±1% FS/24h，长期漂移极小，适配半导体级微量氧监测。
3. 快响应 + 低延迟，实时捕捉波动
   • 传感器响应时间：≤1 秒（T90＜3s）。
   • 整机预热时间：≤6 分钟，开机快速进入测量状态。
4. 高耐用性 + 长寿命，适配严苛工况
   • SD 传感器采用特殊抗污染涂层 + 内置保护机制，防油污、抗粉尘、耐腐蚀性气体，设计寿命较传统机型提升 30%。
   • 可选配活性炭 / 棉过滤器，无需拆机即可更换，维护便捷。
5. 灵活安装 + 丰富输出，易集成
   • 传感器接口：NW16/NW25/NW40 真空法兰，适配多数真空设备标准接口。
   • 通信输出：标准 RS-232C，可选 LAN 以太网，支持上位机 / PLC 数据交互；无电压触点报警输出，适配多系统集成。

四、详细技术参数

（一）整机参数

（二）SD 传感器参数

（三）MS-510 转换器参数

（四）MS-500 控制器参数

五、典型应用场景

1. 半导体行业：多腔体镀膜机、刻蚀机、扩散炉、ALD 设备的氧含量同步监测，防止氧化污染，保障晶圆良率。
2. 光伏行业：晶硅 / 薄膜电池多温区惰性气体保护炉、密封腔的微量氧检测，适配 TOPCon/HJT 高端工艺。
3. 精密制造：多工位真空焊接炉、热处理炉、3D 打印惰性环境氧浓度监控，满足高洁净度要求。
4. 科研实验室：多腔体高真空系统、厌氧舱、手套箱的 ppb 级氧含量精密测量，适配前沿材料研究。

六、结