半导体小型供液 DIC 迪爱生 D-ND-6 ND 低压损脱气模组标准流量深度除泡

一、产品基础概述

：DIC 迪爱生 SEPAREL 中空纤维脱气膜系列型号：D-ND-6

型号释义

1. D：紧凑型小型设备集成款，机身小巧，适配设备内部狭小腔体安装；

2. ND：New Diaphragm 新一代低压损导流改良结构，重构内部流道，相比传统 NA 标准版压降大幅降低；

3. 6：额定标准处理流量 6L/h，匹配半导体小型清洗、光刻微量供液、实验室色谱主流流量工况。

D-ND-6 是专为电子级纯水、光刻显影液、稀释清洗药液开发的真空脱气模组，采用迪爱生 SS 致密表皮聚烯烃中空纤维膜，依靠真空渗透原理脱除液体内部溶解氧、二氧化碳、游离微气泡，全程不改变药液成分浓度，解决镀膜针孔、流量波动、光学检测失真等工艺缺陷，广泛配套半导体小型设备、HPLC 液相色谱、微型喷墨设备流体管路。

二、核心脱气工作原理

模组内部高密度装填致密表皮 SS 中空纤维膜，采用外灌流结构：液体在中空纤维膜丝外侧流动，膜内腔持续外接真空发生器抽取负压，形成跨膜压差。气体分子（O₂、CO₂、微小气泡）可穿透纤维膜层被真空抽走，液态介质无法透过膜丝；内置多层扰流静态混合腔，气液充分分离无局部气泡残留。ND 导流结构取消传统直角折返死角，流体通行阻力大幅降低，长循环管路无需额外增压泵，24 小时连续运行流量稳定无衰减。

三、六大核心产品优势

1. ND 改良低压损流道，适配设备小型化集成

全新无死角导流隔板设计，对比初代 NA 标准款压力损失降低 40%，同等流量下管路负载更小；圆柱紧凑型机身，可直接嵌入清洗机、光刻供液模块、色谱仪内部，多支并联可扩容处理流量。

2. ppb 级深度脱气，提升晶圆与工艺良率

常温电子纯水脱气效率≥90%，出水残氧稳定控制≤80ppb；消除管路微气泡，避免光刻薄膜针孔、晶圆清洗不均、色谱基线噪声、喷墨断线白点缺陷。

3. 抗污防堵，支持反向冲洗延长使用寿命

内部流道无杂质沉积死角，可通入纯水反向冲洗清理药液颗粒物；堵塞周期是老款基础型号 2 倍，大幅减少拆机更换、产线停机损耗，运维成本更低。

4. 全洁净低析出材质，满足半导体高纯度要求

• 中空纤维膜：医用级聚烯烃 SS 致密表皮膜，无塑化剂、金属离子析出；

• 外壳：改性耐蚀 PP 树脂；

• 密封件：标准 PTFE 氟橡胶，兼容弱酸碱光刻药液、电子纯水；强腐蚀浓酸碱工况可定制全氟 PTFE 膜材版本。

5. 模块化免电控，配套简单易安装

无需供电、无电子元器件，仅外接微型真空发生器（负压 - 60~-90kPa）即可工作；标准标准化螺纹接口，可串联在 316L-EP 高纯隔膜阀、精密针阀后端，适配全套高纯流体管路系统。

6. 宽工况稳定连续运行

工作温度 5℃~40℃，液侧长期耐压≤0.2MPa，短时*承压 0.3MPa；支持间歇、24 小时不间断量产工况，出厂全数气密性与脱气性能检测，性能一致性稳定。

四、标准规格参数

1. 额定处理流量：6L/h（纯水 / 低浓度光刻药液）

2. 膜结构：外灌流型 SS 致密表皮中空纤维

3. 脱气对象：溶解氧、二氧化碳、游离微小气泡

4. 脱气效率：常温纯水≥90%，残氧≤80ppb

5. 工作负压：真空侧 - 60 ~ -90kPa

6. 液体接口：Rc1/4 内螺纹；真空接口：φ6 软管快插

7. 工作温度区间：5℃ ~ 40℃

8. 液侧耐压：长期 0.2MPa，峰值 0.3MPa

9. 整机外形：小型一体化圆柱模组，便于机架并排集成

10. 适配介质：电子级纯水、显影液、剥离稀释液、清洗纯水、液相流动相、喷墨墨水

五、典型应用场景

1. 半导体微型设备供液系统小型晶圆清洗机纯水循环、桌面式光刻设备显影液输送、ALD 腔体微量纯水回路，搭配 316L-EP 高纯隔膜阀、高纯针阀组成完整无气泡流体输送管路；

2. 实验室分析仪器高效液相色谱 HPLC 流动相脱气、分光光度计试剂除泡、燃料电池测试水路、微量气体配比系统配套；

3. 工业喷墨设备PCB 喷墨、柔性显示数码印刷墨水脱气，杜绝喷嘴堵塞、喷印偏移瑕疵；

4. 精密光学清洗设备光学镜片、摄像头模组微型清洗循环水路除气，保障清洗均匀度。

六、完整流体配套方案

工艺水箱 → 316L-EP 高纯隔膜阀（路通断隔离）→ D-ND-6 脱气模组（除泡除氧）→ 高纯波纹管针阀（微量流量精细调节）→ 工艺腔体整套管路全程高洁净，从源头消除气泡、离子析出、颗粒污染三大工艺不良诱因。

七、产品结

DIC 迪爱生 D-ND-6 是面向小型精密流体系统的紧凑型低压损脱气模组，依托 ND 新一代导流低压损结构、SS 致密中空纤维脱气膜、抗污易维护三大核心优势，*解决半导体微量药液、纯水、色谱流动相的气泡与溶解气体干扰问题。机身小巧易集成、无需电控、长期运行稳定，适配单机小型设备、实验室研发、少人值守微型产线，是中小流量洁净流体除气除泡的主流标准化选型，支持流量、膜材、接口规格按需定制。