半导体湿法清洗主管路接头迪爱生 DN-913-9.52 全 PFA 耐强腐蚀真空零泄漏

一、产品基础概述

：DIC 迪爱生 SEPAREL ND 系列高纯氟树脂转换接头型号：DN-913-9.52

型号释义

1. DN-913：ND 系列螺纹转软管快插异径接头，一端标准 Rc1/4 外螺纹，一端推入自锁软管插口；

2. 9.52：适配外径 9.52mm（行业 3/8 英寸）标准 PFA/PTFE 高纯软管；结构：外螺纹 + 单通快插转换接头，原厂配套 PF、EF 大流量脱气模组、DC/DF 大流量药液过滤器螺纹端口连接件。

DN-913-9.52 专为大流量纯水循环、CMP 研磨液、批量显影剥离液、制备色谱水路、大容量工业喷墨等高洁净腐蚀流体管路开发。一体成型高纯无填充 PFA 本体 + 双层 PTFE 密封，无金属离子析出，兼顾大通流通量、真空高压长效密封、广谱耐化学腐蚀优势，适配 8/12 寸湿法清洗主回路、中大型量产设备集成管路。

二、结构与双重密封原理

1. 螺纹端：Rc1/4 标准外管螺纹螺纹内置一体式 PTFE 密封垫片，手动拧紧即可完全密封，适配 PF 系列大流量脱气模组、大口径过滤器螺纹口，负压真空工况杜绝倒吸空气，保障脱气残氧稳定达标。

2. 软管端：推入自锁快插结构9.52mm PFA 软管平直切口直接插入内腔，双层环形 PTFE 密封圈全包覆软管外壁，全域无间隙密封；按压尾部锁扣徒手拔管，无需任何工具，设备模组检修、管路改造拆装效率大幅提升。

3. 内部加宽平滑大通径流道无台阶、无节流死角、低流阻设计，大流量循环管路压力损耗低，流体无涡流积气，从源头减少微气泡，不干扰后端脱气模组、腔体工艺均匀性。

三、六大核心产品优势

1. 原厂匹配 PF 大流量脱气模组，成套管路无渗漏

*适配 PF-006L、PF-010L、PF-020L 等大流量脱气单元螺纹接口，无需额外加装垫片，配套 UD 系列 9.52mm 直通接头组成完整大流量流体系统，湿法清洗设备标配转接件。

2. 一体高纯 PFA 材质，满足 SEMI 高纯标准

接头本体一体注塑高纯无填充 PFA，密封件为高纯 PTFE；全程不含金属、橡胶助剂，输送电子级纯水、显影液、CMP 研磨液、强酸强碱有机溶剂不会析出金属离子与颗粒，杜绝晶圆薄膜针孔、清洗不均缺陷。

3. 加宽内通径低流阻，适配大流量长循环管路

对比 DN-913-6.35 小流量接头通流能力提升一倍，长距离大流量纯水、药液循环下压损更低，无需额外增压泵，降低设备能耗与管路配套成本。

4. 广谱耐化学腐蚀，宽温稳定长期运行

耐受浓酸碱、卤素、IPA、光刻胶、CMP 研磨介质；工作温度区间 0℃~200℃，冷热交替管路无变形、密封性能不衰减，常温药液与轻度升温供液回路均可 24 小时连续量产运行。

5. 高压 / 负压双工况长效密封不漏液

液体侧额定耐压 0.7MPa；可长期适配脱气模组 - 60~-90kPa 真空负压管路，氦检无渗漏，真空侧不会进气破坏脱气效率。

6. 标准化模块化，设备集成便捷

机身紧凑，可并排布置在气体 / 药液阀组面板，搭配 D-UD-9.52-2 直通接头完成整条 9.52mm 主管路搭建，适配中大型清洗设备、制备色谱、大容量喷墨设备内部狭小安装空间。

四、标准规格参数

1. 型号：DN-913-9.52

2. 连接结构：Rc1/4 外螺纹 → 9.52mm 外径 PFA 软管推入快插

3. 适配软管：Φ9.52mm（3/8"）PFA/PTFE 高纯氟软管

4. 接液材质：一体成型高纯 PFA 本体 + PTFE 双层密封圈

5. 液体额定耐压：0.7MPa

6. 真空适配：长期 - 60~-90kPa 负压无泄漏

7. 工作温度区间：0℃ ~ 200℃

8. 拆装方式：螺纹端手动拧紧；软管端推入自锁，按压锁扣免工具拔管

9. 原厂适配：PF/EF 大流量脱气模组、DC/DF 大流量药液过滤器、大口径 316L-EP 高纯隔膜阀

10. 适配介质：电子级纯水、显影液、剥离液、CMP 研磨液、稀浓酸碱、有机溶剂、制备色谱流动相、大容量工业喷墨墨水

五、典型应用场景

1. 半导体湿法大流量供液系统8/12 寸晶圆批量清洗设备纯水主循环、CMP 研磨液输送、大型显影设备药液回路，搭配 PF 大流量脱气模组、UD 系列接头组成完整无气泡主管路；

2. 制备级液相色谱设备大流量色谱流动相输送，消除管路气泡，稳定检测基线、降低基线噪声；

3. 大容量工业喷墨设备光伏、大屏、PCB 印刷大容量墨水循环脱气系统，避免喷嘴堵塞、喷印断线白点瑕疵；

4. 中试精密化学流体设备大流量腐蚀试剂配比、大型真空镀膜药液供给、环保在线监测大流量采样水路。

六、完整成套流体搭配方案

药液储罐 → 大口径 316L-EP 高纯隔膜阀 → D-UD-9.52-2 直通接头 → DN-913-9.52 螺纹转软管接头 → PF 系列大流量脱气模组 → DN-913-9.52 → 大流量波纹管高纯针阀 → 工艺腔体整套主管路全氟洁净连接件 + 低压损大流量脱气模组，全程低流阻、无气泡、零离子析出，保障批量量产工艺稳定。

七、产品结

DIC 迪爱生 DN-913-9.52 是 ND 系列大流量螺纹转 9.52mm 软管高纯转换接头，依托原厂 PF 脱气模组*适配、一体高纯 PFA 低析出、加宽大通径低流阻、双层 PTFE 真空密封、免工具快速拆装五大核心优势，专门解决大流量脱气单元、大口径过滤器螺纹端口与 3/8 英寸氟软管之间的管路转接难题。耐强腐蚀、真空高压双工况长效密封，*适配半导体湿法清洗、制备色谱、大容量喷墨等高洁净大流量流体系统，可与 UD 系列 9.52mm 直通接头成套选型，是中大型量产设备主管路标准化配套*转接件