DIC 迪爱生 DCV-715-6.35-0.02 微型 PFA 精密针型流量调节阀

一、产品基础概述

：DIC 迪爱生 SEPAREL DCV 系列高纯氟树脂精密调节阀型号：DCV-715-6.35-0.02

完整型号释义

1. DCV-715：DCV 系列一体式推入快插微型手动针型节流调节阀；

2. 6.35：适配外径 Φ6.35mm（1/4 英寸）标准 PFA/PTFE 高纯软管；

3. 0.02：*小刻度调节量程，代表微量精细调节档位，适配 ppb~mL/min 级微量药液配比。

DCV-715-6.35-0.02 是专为半导体小型光刻供液、HPLC 液相色谱、微型喷墨、微量腐蚀试剂配比开发的一体式高纯微调阀，两端自带 SD 系列推入自锁快插插口，无需额外接头直接串联 6.35mm 氟软管；一体成型 PFA 阀体 + 锥形 PFA 阀芯，全程无金属接触介质，搭配 D-ND-6 小型脱气模组、DN-913-6.35 转换接头组成完整微型洁净流体系统，实现药液微小流量无级线性调节。

二、结构与流量调节原理

1. 两端推入自锁快插结构两端均适配 Φ6.35mm PFA 软管，双层 PTFE 密封圈密封，徒手插拔免工具，直接串联管路，省去 DN/SD 转接件，简化微型阀组布局。

2. 锥形 PFA 精密节流阀芯顶部带刻度手动调节旋钮，旋钮旋转带动锥形阀芯前后位移，改变阀芯与阀座流通截面积；0.02 *小分度精细微调，微量区间线性度优异，可稳定控制 mL/min 级微小药液流量，无流量跳变、无滞后。

3. 平滑低死体积内腔内部无台阶、无滞留死角，流体通行无涡流积气，搭配 D-ND-6 脱气模组可消除管路微气泡，避免镀膜针孔、色谱基线噪声。

三、六大核心产品优势

1. 一体式双快插，省去转接配件

两端集成 6.35mm SD 标准快插插口，直接对接 D-SD-6.35-2 直通接头、DN-913-6.35 螺纹转换接头，管路配件更少、死体积更低，设备狭小阀组集成*。

2. 0.02 微量精细刻度，微量配比*可控

旋钮分度 0.02 微小档位，针对微量显影液、剥离稀释液、色谱流动相、微量墨水*节流，解决普通阀门小开度流量波动大、调节粗糙痛点，批次工艺均匀性大幅提升。

3. 全 PFA 无析出接液材质，半导体高纯标准

阀体、阀芯一体高纯无填充 PFA，密封件 PTFE，全程不含金属、橡胶助剂；输送电子纯水、稀酸碱光刻药液、有机溶剂无金属离子、塑化剂析出，杜绝晶圆薄膜缺陷。

4. 广谱耐化学腐蚀，宽温长期稳定

耐受强酸、强碱、IPA、光刻胶、各类有机腐蚀试剂；工作温度 0℃~200℃，冷热交替管路阀芯无变形、密封无渗漏，常温微量供液回路 24 小时连续运行稳定。

5. 高压真空双工况长效密封

液体额定耐压 0.7MPa；可适配 D-ND-6 脱气模组 - 60~-90kPa 负压真空管路，氦检无渗漏，真空侧不会进气破坏脱气除氧效果。

6. 微型紧凑机身，适配设备小型化集成

整机小巧轻量化，可并排嵌入桌面式光刻、小型清洗机、HPLC 仪器内部狭小面板，*匹配 D-ND-6 小型脱气模组成套微型流体方案。

四、标准规格参数

1. 型号：DCV-715-6.35-0.02

2. 连接结构：两端双 6.35mm 推入快插直通调节阀

3. 适配软管：Φ6.35mm PFA/PTFE 高纯氟软管

4. *小调节刻度：0.02（微量精细调节款）

5. 接液材质：一体成型高纯 PFA 阀体 + 锥形 PFA 阀芯 + PTFE 双层密封圈

6. 额定液体耐压：0.7MPa

7. 真空适配：长期 - 60~-90kPa 负压无泄漏

8. 工作温度区间：0℃ ~ 200℃

9. 调节方式：顶部手动刻度旋钮无级线性节流

10. 原厂成套适配：D-ND-6 小型脱气模组、DN-913-6.35 转换接头、D-SD-6.35-2 直通接头、微型药液过滤器

11. 适配介质：电子级纯水、显影液、稀释剥离液、清洗药液、HPLC 流动相、微型喷墨墨水、稀酸碱有机溶剂

五、典型应用场景

1. 半导体微型光刻供液系统桌面式小型光刻设备显影微量输送、小型晶圆清洗机旁路微量药液调节，串联 D-ND-6 脱气模组组成无气泡微量流体回路；

2. 实验室高效液相色谱 HPLC流动相微量流量精细调节，稳定色谱基线、降低检测噪声，适配微量分析、微量样品配比；

3. 微型工业喷墨设备PCB、柔性屏小型喷墨墨水循环管路微调，稳定墨水供给，杜绝喷嘴堵塞、喷印断线白点；

4. 微量精密化学设备微量腐蚀试剂配比、小型真空镀膜微量药液供给、环保微量采样水路流量控制。

六、成套微型流体系统搭配方案

药液储罐 → 316L-EP 高纯隔膜阀 → D-SD-6.35-2 直通接头 → D-ND-6 脱气模组 → DCV-715-6.35-0.02 微量调节阀 → 工艺腔体整套管路全氟洁净配件 + 低压损脱气 + 微量线性节流，全程无气泡、零离子析出，保障微量工艺稳定性。

七、产品结

DIC 迪爱生 DCV-715-6.35-0.02 是 DCV 系列6.35mm 软管一体式微量 PFA 针型调节阀，依托双端快插免转接、0.02 精细刻度微量调节、全 PFA 低析出、低死体积无气泡、真空高压双密封五大核心优势，专门匹配 D-ND-6 小型脱气模组组成半导体、色谱、喷墨微型供液系统。体积小巧易集成、耐强腐蚀、微量流量线性稳定，是桌面式光刻、实验室分析、微型喷墨等高洁净微量流体管路标准化微调*阀门，可与 SD、ND 系列 6.35mm 接头成套配套选型。