DIC 迪爱生 DF-40-5μm 大流量 5μm 前置粗过滤器

一、产品基础概述

：DIC 迪爱生 SEPAREL DF 系列大流量高纯药液前置过滤器型号：DF-40-5μm

完整型号释义

1. DF：SEPAREL 配套脱气模组一体式折叠膜过滤器系列；

2. 40：大流量规格，额定适配≤40L/h 药液、纯水循环系统；

3. 5μm：公称过滤精度，稳定截留 5μm 及以上管路锈蚀碎屑、油墨结块、树脂絮团、粗大胶体、研磨介质颗粒。

DF-40-5μm 专为12 寸大型晶圆湿法批量清洗、CMP 研磨液主循环、大容量光伏 / PCB 喷墨、中大型制备液相色谱开发，一体式耐蚀滤壳搭配亲水 PTFE 多层折叠滤膜，两端标准 Rc1/4 内螺纹接口，可搭配 DN-913-9.52 转换接头对接 9.52mm PFA 高纯软管，与 PF 全系列大流量脱气模组、DCV-715-9.52 大流量调节阀成套串联，作为整套流体管路*道前置粗过滤，拦截绝大多数粗大固体污染物，分担后端脱气膜、0.2μm 精密终端滤芯、喷墨喷头负载，大幅降低耗材更换频次与产线停机运维成本。

二、过滤结构与工作原理

1. 多层褶皱亲水 PTFE 折叠滤膜月牙折叠结构大幅扩容有效过滤面积，同等体积下通液量*化、运行压差极低；亲水改性 PTFE 对纯水、水性光刻药液浸润性优异，不易滞留气泡，保障脱气模组除氧效率不受干扰。

2. 分级前置粗滤净化逻辑5μm 大孔径优先拦截管路脱落大块杂质、研磨介质团聚颗粒、管路氧化物、油墨结块；滤膜采用热熔无胶焊接工艺，无粘合剂析出、无纤维脱落，不会对药液造成二次污染，满足半导体高纯制程要求。

3. 平滑无死角一体化内腔流道内部无凹凸滞留死角，流体通行阻力小，前置搭配 PF 脱气模组可同步完成真空脱气除泡 + 粗大颗粒粗过滤，同步消除气泡、颗粒两大工艺不良诱因。

三、六大核心产品优势

1. 40L/h 大通流，适配 PF 全系列大流量脱气模组

额定处理流量* 40L/h，覆盖 PF-010L、PF-020L 全系大流量脱气单元配套循环水路，满足 12 寸大型清洗设备、大容量喷墨连续不间断供液需求，对比 DF-05/10/20 系列通流能力提升一倍以上，长时间运行无流量衰减、无憋压。

2. 5μm 前置粗滤，长效保护后端全套精密耗材

提前拦截管路大块固体杂质，大幅减轻脱气膜、精密终端滤芯、色谱柱、喷墨喷头磨损堵塞，可延长后端精密耗材使用寿命 3 倍以上，显著减少产线停机更换损耗，降低综合运维成本。

3. 全氟耐蚀接液材质，兼容全品类半导体药液

滤壳一体成型高纯无填充 PFA，滤膜亲水 PTFE，密封件 FFKM 全氟橡胶；全程无金属、橡胶助剂析出，耐受强酸、强碱、HF 氢氟酸、IPA、光刻胶、CMP 研磨液、各类有机溶剂，适配 SEMI 高纯洁净标准。

4. 大纳污容量、低压损长周期运行

褶皱折叠结构纳污能力远平板滤膜，容纳固体杂质量更高；长距离药液循环下压升极小，无需额外增压泵，简化整套流体管路配套结构，适配 24 小时连续量产工况。

5. 真空 / 正压双工况长效密封不漏气漏液

液体侧额定耐压 0.7MPa；可长期配套 PF 脱气模组 - 60~-90kPa 负压真空管路，螺纹端搭配 DN-913-9.52 接头密封稳定，不会倒吸空气破坏脱气除氧效果。

6. 标准化 Rc1/4 螺纹接口，模块化管路集成

两端统一 Rc1/4 内螺纹，搭配 DN-913-9.52 转换接头直连 9.52mm PFA 软管，可与 UD 系列直通接头、DCV 大流量调节阀快速串联，阀组面板紧凑标准化安装。

四、标准规格参数

1. 型号：DF-40-5μm

2. 产品系列：DF 大流量折叠膜前置粗过滤器

3. 过滤精度：5μm

4. 滤膜材质：亲水 PTFE 折叠膜，热熔无胶焊接

5. 滤壳材质：一体成型高纯无填充 PFA

6. 额定处理流量：≤40L/h

7. 液侧额定耐压：0.7MPa，瞬时峰值 0.9MPa

8. 适配真空负压：-60~-90kPa

9. 工作温度区间：0℃ ~ 200℃

10. 接口规格：两端 Rc1/4 内螺纹，配套 DN-913-9.52 转接 Φ9.52mm PFA 软管

11. 原厂成套适配：PF/EF 大流量脱气模组、DN-913-9.52 转换接头、D-UD-9.52-2 直通接头、DCV-715-9.52-0.05 大流量调节阀、大口径 316L-EP 高纯隔膜阀

12. 适配介质：电子级纯水、显影液、剥离液、CMP 研磨液、稀 / 浓酸碱、氢氟酸、有机溶剂、制备色谱流动相、大容量光伏 / PCB 喷墨墨水

五、典型应用场景

1. 12 寸大型半导体湿法主路供液系统大型晶圆批量清洗纯水主循环、CMP 研磨液输送、大容量显影设备药液回路前置粗滤，搭配 PF 脱气模组实现除泡 + 除粗大颗粒一体化处理；

2. 中大型制备级液相色谱设备大流量流动相前置保护过滤，阻挡胶体、固体杂质堵塞色谱柱，降低基线杂峰、提升检测数据长期稳定性；

3. 大容量工业喷墨设备光伏、大屏、PCB 印刷大容量墨水循环管路粗过滤，拦截颜料团聚大颗粒，避免喷头堵塞、喷印断线、白点瑕疵；

4. 中试大型化学配比设备大流量腐蚀试剂、清洗溶剂循环前置净化，消除粗大颗粒干扰薄膜沉积、刻蚀均匀性。

六、完整大流量成套流体系统搭配方案

药液储罐 → 大口径 316L-EP 高纯隔膜阀 → D-UD-9.52-2 直通接头 → PF 大流量脱气模组 → DCV-715-9.52-0.05 流量调节阀 → DN-913-9.52 螺纹转软管接头 → DF-40-5μm 前置过滤器 → 工艺腔体整套管路实现通断隔离、真空脱气、大流量*节流、前置粗过滤，同步消除管路气泡与粗大颗粒杂质，保障大型量产设备工艺长期稳定。

七、产品结

DIC 迪爱生 DF-40-5μm 是 DF 系列旗舰款40L/h 大流量 5μm 前置折叠粗过滤器，依托 40L/h 大通量规格、5μm 高效粗大颗粒拦截、全 PFA 低离子析出、折叠膜低压损高纳污、适配真空脱气系统五大核心优势，专为 PF 系列大流量脱气模组成套配套，用于 12 寸大型湿法清洗、制备色谱、大容量喷墨等高洁净大流量流体管路*道前置保护，大幅降低后端精密耗材更换频次，是 9.52mm 大型主管路标准化粗滤*滤芯。