DIC 迪爱生 DF-20-1μm 中大流量 PFA 折叠式前置粗过滤器

一、产品基础概述

：DIC 迪爱生 SEPAREL DF 系列中大流量高纯药液过滤器型号：DF-20-1μm

完整型号释义

1. DF：一体化折叠膜高纯过滤器系列；

2. 20：中大流量规格，额定适配≤20L/h 药液、纯水循环；

3. 1μm：公称过滤精度，稳定截留 1μm 及以上树脂絮团、管路碎屑、氧化物大颗粒、胶体杂质。

DF-20-1μm 专为8/12 寸湿法批量清洗、CMP 研磨液循环、大容量工业喷墨、制备级液相色谱开发，一体式高纯 PFA 滤壳搭配亲水 PTFE 多层折叠滤膜，两端标准 Rc1/4 内螺纹接口，可搭配 DN-913-9.52 转换接头对接 9.52mm PFA 软管，与 PF 系列大流量脱气模组、DCV-715-9.52 大流量调节阀成套串联，作为管路前置粗过滤，拦截大粒径杂质，保护后端 0.2μm 精滤、脱气膜、色谱柱、喷墨喷头，大幅降低耗材更换频次与停机运维成本。

二、过滤结构与工作原理

1. 多层褶皱亲水 PTFE 折叠滤膜褶皱结构大幅提升有效过滤面积，同等体积下通液量大、运行压差低；亲水改性 PTFE 对纯水、水性光刻药液浸润性优异，不易积气、气泡排出顺畅。

2. 分级前置拦截净化逻辑1μm 粗精度优先截留管路脱落碎屑、药液团聚胶体、研磨介质大颗粒、管路腐蚀氧化物；滤膜热熔焊接无粘合剂、无纤维脱落，不会对药液造成二次污染。

3. 平滑无死角一体化 PFA 内腔内部无凹凸滞留死角，流体流通阻力小，前置搭配 PF 脱气模组可同步完成真空脱气除泡 + 大颗粒粗过滤，双重保障流体洁净度，避免气泡、颗粒双重工艺不良。

三、六大核心产品优势

1. 20L/h 中大流量规格，匹配 PF 全系列大流量脱气模组

额定处理流量* 20L/h，适配 PF-010L、PF-020L 等大流量脱气单元配套循环水路，满足中型湿法设备、大容量喷墨连续供液需求。

2. 1μm 前置粗滤，长效保护后端精密耗材

提前拦截大粒径杂质，大幅减轻后端 0.2μm 精密终端滤芯、脱气膜、色谱柱、喷墨喷头负载，延长耗材使用寿命 3 倍以上，减少产线停机更换损耗。

3. 全氟一体接液材质，满足半导体 SEMI 高纯标准

滤壳、支撑骨架一体成型无填充高纯 PFA，滤膜亲水 PTFE，密封件 PTFE/FFKM 全氟橡胶；全程无金属、橡胶助剂析出，兼容电子纯水、显影液、剥离液、CMP 研磨液、浓稀酸碱、IPA、各类光刻有机溶剂。

4. 折叠膜大纳污容量、低压损长周期运行

褶皱扩容过滤面积，纳污能力远优于平板膜；长距离药液循环下压升极低，无需额外增压泵，简化整套流体管路配套结构。

5. 真空 / 正压双工况长效密封不漏气漏液

液体侧额定耐压 0.7MPa；可长期配套 PF 脱气模组 - 60~-90kPa 负压真空管路，螺纹端搭配 DN-913-9.52 接头密封稳定，不会倒吸空气破坏脱气除氧效果。

6. 标准化 Rc1/4 螺纹接口，管路集成便捷

两端统一 Rc1/4 内螺纹，搭配 DN-913-9.52 转换接头直连 9.52mm PFA 软管，可与 UD 系列直通接头、DCV 大流量调节阀快速串联，阀组面板紧凑模块化安装。

四、标准规格参数

1. 型号：DF-20-1μm

2. 产品系列：DF 中大流量折叠膜前置过滤器

3. 过滤精度：1μm

4. 滤膜材质：亲水 PTFE 折叠膜，热熔无胶焊接

5. 滤壳材质：一体成型高纯无填充 PFA

6. 额定处理流量：≤20L/h

7. 液侧额定耐压：0.7MPa

8. 适配真空负压：-60~-90kPa

9. 工作温度区间：0℃ ~ 200℃

10. 接口规格：两端 Rc1/4 内螺纹，配套 DN-913-9.52 转接 Φ9.52mm PFA 软管

11. 原厂成套适配：PF/EF 大流量脱气模组、DN-913-9.52 转换接头、D-UD-9.52-2 直通接头、DCV-715-9.52-0.05 大流量调节阀、大口径 316L-EP 高纯隔膜阀

12. 适配介质：电子级纯水、显影液、剥离液、CMP 研磨液、稀 / 浓酸碱、有机溶剂、制备色谱流动相、大容量光伏 / PCB 喷墨墨水

五、典型应用场景

1. 半导体中大流量湿法供液系统8/12 寸中型晶圆批量清洗纯水主循环、CMP 研磨液输送、中型批量显影设备药液回路前置粗滤，搭配 PF 脱气模组实现除泡 + 除大颗粒一体化处理；

2. 制备级液相色谱设备大流量流动相前置保护过滤，阻挡胶体、固体杂质堵塞色谱柱，降低基线杂峰、提升检测数据稳定性；

3. 大容量工业喷墨设备光伏、大屏、PCB 印刷大容量墨水循环管路粗过滤，拦截颜料团聚大颗粒，避免喷头堵塞、喷印断线、白点瑕疵；

4. 中试精密化学配比设备大流量腐蚀试剂、清洗溶剂循环前置净化，消除大颗粒干扰薄膜沉积、刻蚀均匀性。

六、完整中大流量成套流体系统搭配方案

药液储罐 → 大口径 316L-EP 高纯隔膜阀 → D-UD-9.52-2 直通接头 → PF 大流量脱气模组 → DCV-715-9.52-0.05 流量调节阀 → DN-913-9.52 螺纹转软管接头 → DF-20-1μm 前置过滤器 → 工艺腔体整套管路实现通断隔离、真空脱气、大流量*节流、前置粗过滤，同步消除管路气泡与大颗粒杂质，保障批量量产工艺长期稳定。