Otsuka 大塚 LCF 系列 彩色滤光片光谱特性测量装置

一、产品概述

LCF 系列彩色滤光片光谱特性测量装置是面向 FPD 平板显示产线的一体化在线检测设备，专为彩色滤光片光学性能、玻璃基板薄膜厚度同步检测开发，可集成到彩膜制程全流程产线，一套设备同时完成滤光片分光光谱、色坐标、膜层厚度双维度在线判定，是 LCD/OLED 彩色滤光片量产品质管控核心自动化检测平台。

二、核心硬件技术参数

1. ：Otsuka 大塚

2. 型号：LCF 系列 彩色滤光片光谱特性测量装置

3. 适配产线：FPD 平板显示彩色滤光片生产制程

4. 双检测功能：1）光学性能：彩色滤光片透射光谱、透过率、色坐标、色纯度、分波段光谱响应；2）薄膜检测：玻璃基板上各类功能薄膜膜厚、膜层均匀性；

5. 核心光谱主机：MCPD 多通道高速分光光度计，紫外 - 可见光宽波段同步采集；

6. 整机架构：全自动流水线搭载式设备，XY 自动位移载台，全域扫描基板；

7. 运行模式：24h 连续工业在线运行，与前后段涂布、曝光、显影设备信号同步；

8. 输出功能：OK/NG 不良判定信号，光谱、膜厚全域分布云图，批次数据对接 MES 追溯系统。

三、核心技术优势

1. 光谱 + 膜厚一体化同步检测，单设备覆盖彩膜两大核心质控指标

无需两套独立设备，一次扫描同时获取彩色滤光片分光光学性能与基板薄膜厚度，省去双设备产线布局、同步调试成本，缩短基板单块检测节拍。

2. FPD 产线原生集成设计，适配大尺寸玻璃基板

标准流水线搭载结构，兼容 G4.5~G8.5 各代玻璃基板，自动位移载台全域扫描整片基板，捕捉局部色差、膜厚偏薄 / 偏厚缺陷。

3. 高性能分光探测器，宽波段高精度光谱解析

搭载 MCPD 系列多通道分光光度计，紫外至可见光完整覆盖，*区分 RGB 彩色滤光片窄带透射光谱，微小色偏可稳定检出。

4. 全自动产线信号同步，适配高速涂布流水线

硬件原生对接产线输送、曝光、涂布设备触发信号，基板到位自动启动全域扫描，无漏检、错检，匹配高节拍彩膜量产线。

5. 全流程数据闭环追溯

实时上传每片基板光谱、膜厚检测数据至工厂 MES 系统，自动存储、分级、导出工艺报表，支撑涂布、曝光工艺迭代优化。

四、核心功能

1. FPD 平板产线，同步完成彩色滤光片光学光谱性能、玻璃基板薄膜厚度在线检测；

2. 高性能分光光度计宽波段采集紫外 - 可见光光谱，量化滤光片透过率、色度、色纯度；

3. 全自动 XY 位移扫描，整片玻璃基板全域检测，定位局部色差、膜厚不均缺陷；

4. 与产线输送控制信号同步联动，自动判定不良基板并输出剔除信号；

5. 全批次光谱、膜厚数据实时存储，用于彩膜制程工艺优化与出厂品质追溯。

五、典型应用场景

1. LCD 彩色滤光片产线：RGB 彩膜透射光谱、色坐标、涂布膜厚批量在线筛查；

2. OLED 彩膜基板：有机彩色滤光薄膜光谱一致性、膜层均匀性检测；

3. 玻璃基板前段制程：ITO、钝化、光刻薄膜厚度全域监控；

4. 彩膜研发实验室：小尺寸基板离线光谱、膜厚综合评估；

5. 显示模组厂：彩色滤光片贴合前成品光学品质终检。