DIC 迪爱生 DCV-715-9.52-0.05 大流量一体式 PFA 精密手动调节阀

一、产品基础概述

：DIC 迪爱生 SEPAREL DCV 系列高纯氟树脂手动针型流量调节阀型号：DCV-715-9.52-0.05

完整型号释义

1. DCV-715：DCV 一体式推入快插手动节流调节阀系列；

2. 9.52：适配外径 9.52mm（3/8 英寸）标准 PFA/PTFE 高纯软管；

3. 0.05：调节旋钮*小分度刻度，中等精细调节档位，适配大流量 mL/min~L/min 级药液循环管路。

DCV-715-9.52-0.05 是专为半导体湿法大流量供液、制备级液相色谱、大容量工业喷墨、中试腐蚀药液配比开发的直通式微调阀，阀体两端集成 UD 系列推入自锁快插接口，可直接串联 9.52mm 氟软管，无需额外转换接头；阀体、阀芯一体高纯 PFA 材质，全程无金属接触介质，原厂配套 PF/EF 大流量脱气模组、DN-913-9.52 转换接头、D-UD-9.52-2 直通接头组成完整大流量洁净流体系统，实现大流量药液无级线性*节流。

二、结构与流量调节原理

1. 两端一体式 9.52mm 推入自锁快插两侧统一 3/8 英寸软管插口，双层环形 PTFE 密封圈全包覆软管外壁，徒手插拔免工具拆装，省去螺纹转接配件，降低管路死体积与装配复杂度。

2. 锥形 PFA 精密节流阀芯顶部带刻度手动调节旋钮，旋转带动锥形阀芯前后位移，改变阀芯与阀座流通截面积；0.05 分度精细档位，大流量区间流量线性度优异，开度调节无跳变、无滞后，稳定控制大流量循环药液供给。

3. 加宽大通径平滑内腔内部无台阶、无滞留死角，流体通行阻力低、无涡流积气，搭配 PF 系列大流量脱气模组可消除管路微气泡，避免湿法清洗不均、色谱基线漂移、喷墨喷印瑕疵。

三、六大核心产品优势

1. 双端一体化快插，适配 9.52mm 大流量管路

两端自带 UD 标准快插插口，直接对接 D-UD-9.52-2 直通、DN-913-9.52 螺纹转软管接头，管路配件更少、流阻更低，适配晶圆批量清洗主循环、CMP 研磨液输送等大流量工况。

2. 0.05 标准精细刻度，大流量管路*微调

旋钮*小分度 0.05，针对大流量纯水、显影剥离液、研磨液线性节流，解决普通阀门大开度流量失控、调节粗糙痛点，批量量产工艺均匀性稳定。

3. 一体高纯 PFA 全接液，满足 SEMI 高纯标准

阀体、锥形阀芯一体成型无填充高纯 PFA，密封件为高纯 PTFE；不含金属、橡胶助剂，输送电子级纯水、浓稀酸碱、CMP 研磨介质、光刻配套有机溶剂无金属离子、塑化剂析出，杜绝晶圆薄膜针孔、颗粒缺陷。

4. 广谱耐化学腐蚀，宽温长期连续运行

耐受强酸、强碱、IPA、光刻胶、各类卤素有机溶剂；工作温度区间 0℃~200℃，冷热交替管路阀芯无变形、密封不渗漏，24 小时不间断量产工况稳定可靠。

5. 高压 / 真空双工况长效密封不漏液

液体侧额定耐压 0.7MPa；可长期配套 PF 脱气模组 - 60~-90kPa 负压真空管路，氦检无渗漏，真空侧不会倒吸空气破坏脱气除氧效果。

6. 紧凑模块化机身，设备内部易集成

整机轻量化小巧，可并排布置在湿法设备阀组面板，*匹配 PF 大流量脱气模组成套大流量流体方案，设备小型化、标准化管路设计*。

四、标准规格参数

1. 型号：DCV-715-9.52-0.05

2. 连接结构：两端双 9.52mm 推入快插直通调节阀

3. 适配软管：Φ9.52mm（3/8"）PFA/PTFE 高纯氟软管

4. *小调节刻度：0.05（大流量标准精细调节款）

5. 接液材质：一体成型高纯 PFA 阀体 + 锥形 PFA 阀芯 + PTFE 双层密封圈

6. 额定液体耐压：0.7MPa

7. 真空适配：长期 - 60~-90kPa 负压无泄漏

8. 工作温度区间：0℃ ~ 200℃

9. 调节方式：顶部手动刻度旋钮无级线性节流

10. 原厂成套适配：PF/EF 大流量脱气模组、DN-913-9.52 转换接头、D-UD-9.52-2 直通接头、大流量药液过滤器、大口径 316L-EP 高纯隔膜阀

11. 适配介质：电子级纯水、显影液、剥离液、CMP 研磨液、稀浓酸碱、有机溶剂、制备色谱流动相、大容量工业喷墨墨水

五、典型应用场景

1. 半导体湿法大流量供液系统8/12 寸晶圆批量清洗纯水主循环、CMP 研磨液输送、大型显影设备药液回路，串联 PF 大流量脱气模组组成完整无气泡大流量流体管路；

2. 制备级高效液相色谱设备大流量色谱流动相稳定节流，消除管路气泡，降低基线噪声、保障检测数据一致性；

3. 大容量工业喷墨设备光伏、大屏、PCB 印刷大容量墨水循环管路流量微调，稳定墨水供给，避免喷嘴堵塞、喷印断线白点；

4. 中试精密化学流体设备大流量腐蚀试剂配比、大型真空镀膜药液供给、环保在线监测大流量采样水路流量控制。

六、完整成套流体系统搭配方案

药液储罐 → 大口径 316L-EP 高纯隔膜阀 → D-UD-9.52-2 直通接头 → PF 系列大流量脱气模组 → DCV-715-9.52-0.05 大流量调节阀 → 工艺腔体整套主管路全氟洁净连接件 + 低压损大流量脱气 + 线性精密节流，全程低流阻、无气泡、零离子析出，保障批量量产工艺稳定。

七、产品结

DIC 迪爱生 DCV-715-9.52-0.05 是 DCV 系列9.52mm 软管一体式大流量 PFA 针型调节阀，依托双端快插免转接、0.05 标准精细刻度线性调节、一体高纯 PFA 低析出、加宽大通径低流阻、真空高压双密封五大核心优势，专门匹配 PF 系列大流量脱气模组，搭建半导体湿法清洗、制备色谱、大容量喷墨等高洁净大流量流体管路。耐广谱化学腐蚀、拆装便捷、大流量调节稳定线性，是中大型量产设备主管路标准化流量微调*阀门，可与 UD、ND 系列 9.52mm 接头成套配套选型。