DIC 迪爱生 DF-05-0.2μm 微型高纯药液折叠膜过滤器

一、产品基础概述

：DIC 迪爱生 SEPAREL DF 系列微型高纯药液过滤器型号：DF-05-0.2μm

型号释义

1. DF：Mini 小型折叠膜过滤器系列，适配机台内置微型流体回路；

2. 05：本体规格，适配 6L/h 以内小流量微量药液输送；

3. 0.2μm：滤膜公称孔径，可有效截留 0.2μm 及以上微颗粒、胶体杂质。

DF-05-0.2μm 是半导体小型光刻设备、微型清洗机、HPLC 液相色谱配套终端过滤单元，全 PFA 一体滤壳搭配亲水性 PTFE 折叠滤膜，体积小巧、死体积极低，可串联 D-ND-6 脱气模组、DN-913-6.35 转接接头、DCV-715 微量调节阀组成完整微型洁净流体系统，去除药液、纯水内颗粒杂质，避免晶圆针孔、色谱柱堵塞、喷墨喷嘴堵孔缺陷。

二、过滤结构与工作原理

1. 折叠式 PTFE 滤膜结构采用多层褶皱折叠滤膜设计，有效过滤面积大幅提升，同等体积下通水量更大、压差更低；亲水化 PTFE 材质，水相药液浸润性好，不易产生气泡滞留。

2. 分级拦截机制0.2μm *孔径，可截留树脂碎屑、管路析出微粒、空气中带入胶体、金属氧化物颗粒；滤膜无纤维脱落，不会造成二次污染。

3. 一体式紧凑型滤壳流道全 PFA 模压成型滤筒，内部流道平滑无死角，流体经过无涡流积气，前置搭配 D-ND-6 脱气模组可实现 “先脱气、后过滤”，双重保障药液洁净无气泡。

三、五大核心产品优势

1. 微型机身，适配设备狭小内置空间

DF-05 迷你尺寸，专为桌面光刻、小型清洗机、色谱仪内部阀组设计，可与 D-ND-6 脱气模组并排集成，不占用额外机柜空间，适配设备小型化设计需求。

2. 0.2μm 精密截留，杜绝颗粒工艺不良

标准 0.2μm 过滤精度，拦截各类工艺杂质颗粒，从终端净化显影液、纯水、清洗药液，减少晶圆薄膜针孔、表面颗粒缺陷，提升良率。

3. 全氟无析出材质，满足半导体高纯标准

滤壳一体高纯 PFA，滤膜为亲水 PTFE，支撑骨架 PFA 材质，全程无金属、无橡胶填充助剂；输送电子级药液无离子、塑化剂析出，适配 SEMI 高洁净制程要求。

4. 折叠膜大通量、低压损，适配微量连续供液

褶皱折叠结构增大有效过滤面积，小流量工况下压损极低，无需增压泵；抗污染能力优于平板膜，延长滤芯更换周期，降低运维成本。

5. 真空 / 正压双工况适配，配套脱气系统稳定运行

额定耐压 0.7MPa，可匹配 D-ND-6 模组 - 60~-90kPa 负压管路，密封无泄漏，不会倒吸空气产生二次气泡，脱气 + 过滤成套搭配性能稳定。

四、标准规格参数

1. 型号：DF-05-0.2μm

2. 系列：DF 微型折叠膜过滤器

3. 过滤孔径：0.2μm

4. 滤膜材质：亲水 PTFE 折叠膜

5. 滤壳材质：一体成型高纯 PFA

6. 额定处理流量：≤6L/h（匹配 D-ND-6 额定流量）

7. 液体耐压：0.7MPa

8. 适用真空负压：-60~-90kPa

9. 工作温度：0℃~200℃

10. 接口规格：两端 Rc1/4 内螺纹，可搭配 DN-913-6.35 转接 6.35mm PFA 软管

11. 适配配套：D-ND-6 脱气模组、DN-913-6.35 转换接头、DCV-715-6.35 微量调节阀、SD 系列 6.35mm 直通接头

12. 适配介质：电子级纯水、显影液、稀释剥离液、清洗药液、HPLC 流动相、微型喷墨墨水、稀酸碱有机溶剂

五、典型应用场景

1. 半导体微型光刻供液系统桌面式小型光刻显影管路终端过滤、小型晶圆清洗纯水回路净化，串联 D-ND-6 脱气模组实现除泡 + 除颗粒一体化；

2. 实验室 HPLC 液相色谱流动相终端过滤，保护色谱柱，消除杂质造成的基线杂峰、柱堵塞；

3. 微型 PCB / 柔性屏喷墨设备墨水在线过滤，拦截颜料团聚颗粒，避免喷嘴堵塞、喷印断线白点；

4. 微量精密化学配比设备腐蚀试剂微量输送终端净化，防止微小颗粒干扰薄膜沉积均匀性。