DIC 迪爱生 DF-10-0.5μm 中流量高纯折叠膜药液过滤器

一、产品基础概述

：DIC 迪爱生 SEPAREL DF 系列高纯折叠膜过滤器型号：DF-10-0.5μm

型号释义

1. DF：折叠膜微型 / 中型高纯过滤器系列；

2. 10：机身规格，适配 10L/h 以内中流量药液、纯水循环；

3. 0.5μm：滤膜公称过滤精度，截留 0.5μm 及以上颗粒、树脂絮状物、胶体杂质。

DF-10-0.5μm 面向中小型半导体湿法设备、制备液相、中大容量喷墨设备开发，一体式高纯 PFA 滤壳搭配亲水 PTFE 多层折叠滤膜，标准 Rc1/4 螺纹端口，可搭配 DN-913-9.52 转接 9.52mm 氟软管，与 PF 大流量脱气模组、DCV-715-9.52 调节阀成套使用，完成药液大颗粒、胶体杂质终端拦截，避免管路堵塞、腔体表面颗粒缺陷、喷头堵塞等不良。

二、过滤结构与工作原理

1. 多层褶皱折叠亲水 PTFE 滤膜折叠结构大幅扩充有效过滤面积，同等体积下通液量更高、运行压差更低；亲水改性 PTFE 对纯水、水性光刻药液浸润性优异，不易积气。

2. 分级拦截净化机制0.5μm 孔径*截留管路脱落碎屑、药液团聚胶体、氧化物颗粒、树脂絮状物；滤膜无纤维脱落，杜绝二次污染药液。

3. 平滑无死角 PFA 一体化流道内腔无凹凸滞留区，流体流通顺畅，搭配 PF 脱气模组可同步实现脱气除泡 + 颗粒过滤，双重保障流体洁净度。

三、六大核心产品优势

1. 中流量适配，匹配 PF 脱气模组工况

额定处理流量* 10L/h，适配 PF 小型大流量脱气单元配套回路，满足中小型清洗、批量显影设备循环供液需求。

2. 0.5μm 大孔径高效粗滤，延长后端精密耗材寿命

前置粗滤拦截大颗粒杂质，大幅减轻后端 0.2μm 终端精滤、色谱柱、喷墨喷头负载，降低滤芯、喷头更换频次，减少停机运维成本。

3. 全氟接液材质，低离子析出

滤壳、支撑骨架一体成型高纯无填充 PFA，滤膜亲水 PTFE，无金属、橡胶助剂溶出，兼容电子纯水、显影液、剥离液、稀浓酸碱、有机溶剂，满足半导体 SEMI 高洁净标准。

4. 折叠膜低压损，长循环管路无需增压

褶皱增大过滤面积，流体阻力低，长距离药液循环下压升小，无需额外增压泵，简化整套流体系统配套。

5. 真空、正压双工况稳定密封

液体额定耐压 0.7MPa；可适配 PF 脱气模组 - 60~-90kPa 负压管路，螺纹端搭配 DN-913-9.52 接头密封不漏气，不会破坏脱气除氧效果。

6. 标准化螺纹接口，管路集成便捷

两端 Rc1/4 内螺纹，搭配 DN-913-9.52 转换接头直连 9.52mm PFA 软管，可与 UD 系列直通、DCV 大流量调节阀快速串联，阀组面板紧凑安装。

四、标准规格参数

1. 型号：DF-10-0.5μm

2. 产品系列：DF 中型折叠膜过滤器

3. 过滤精度：0.5μm

4. 滤膜材质：亲水 PTFE 折叠膜

5. 滤壳材质：一体高纯 PFA

6. 额定流量：≤10L/h

7. 液侧耐压：0.7MPa

8. 适配真空负压：-60~-90kPa

9. 工作温度：0℃~200℃

10. 接口规格：两端 Rc1/4 内螺纹，适配 DN-913-9.52 转接 Φ9.52mm 软管

11. 成套适配：PF 系列脱气模组、DN-913-9.52 转换接头、D-UD-9.52-2 直通、DCV-715-9.52-0.05 调节阀、大口径 316L-EP 隔膜阀

12. 适配介质：电子级纯水、显影液、剥离液、稀释清洗液、制备色谱流动相、中大容量喷墨墨水、稀酸碱有机溶剂

五、典型应用场景

1. 中小型半导体湿法供液系统8 寸小型晶圆清洗纯水循环、批量桌面显影设备药液管路前置过滤，搭配 PF 脱气模组完成除泡除颗粒一体化处理；

2. 制备级液相色谱设备流动相前置粗过滤，阻挡胶体杂质保护色谱柱，减少基线杂峰与柱堵塞；

3. 中大容量工业喷墨设备PCB、中小尺寸显示面板墨水循环过滤，拦截颜料团聚大颗粒，避免喷头堵塞、喷印断线；

4. 中试化学药液配比设备腐蚀试剂、清洗溶剂循环前置净化，消除大颗粒干扰薄膜沉积均匀性。